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緊湊型質量流量控制器公司

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區國際創新園,孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum?Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務,通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段,實現快速發展,助力國家半導體產業的發展。
?????????公司現有發明專利21項,實用新型專利12項,國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業,全力打造國內一流研發團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業,承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構,并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳濰坊等地設有制造基地和研發中心,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,并提供專業的售前售后服務。



質量流量控制器,質量流量計
緊湊型質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內的流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。
緊湊型質量流量控制器公司 產品信息

  MFC-E系列緊湊型質量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 專 為 氣 體 分 析 儀 、質 譜 儀 、配 氣 儀 等 行 業 所 開 發 的 一 款 高 精 度 、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產 品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器 、進 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等,具 有 精 度 高 、響 應 速 度 快 、穩 定 性 好 等 優 點 。操 作 使 用 方 便,可 廣 泛 用 于 。輸 出 和 控 制 信號包括:0-5V模擬信號和RS485數字通信方式 。
 

  緊湊型質量流量控制器 產品應用于:半導體加工、分析和環保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
 

  緊湊型質量流量控制器產品特點:
 

  溫度和壓力不敏感
 

  設計勁湊,可安裝任意位置
 

  超快的響應速度
 

  良好的重復性和再現性
 

  可模擬采集、控制或數字采集、控制
 

關鍵詞:控制器
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