MFC-E系列緊湊型質量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 專 為 氣 體 分 析 儀 、質 譜 儀 、配 氣 儀 等 行 業(yè) 所 開 發(fā) 的 一 款 高 精 度 、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質 量 流 量 控 制 器 產 品 。該 產 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器 、進 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度 高 、響 應 速 度 快 、穩(wěn) 定 性 好 等 優(yōu) 點 。操 作 使 用 方 便，可 廣 泛 用 于 。輸 出 和 控 制 信號包括：0-5V模擬信號和RS485數(shù)字通信方式 。
緊湊型質量流量控制器 產品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
緊湊型質量流量控制器產品特點：
溫度和壓力不敏感
設計勁湊，可安裝任意位置
超快的響應速度
良好的重復性和再現(xiàn)性
可模擬采集、控制或數(shù)字采集、控制
