小流量氣體流量計(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)優(yōu)良的微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法,所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產(chǎn)品。
小流量氣體流量計介紹:
溫度和壓力不敏感
超快的響應速度
多種信號輸出方式
公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計、質量流量控制器、數(shù)字風速計等氣體流量檢測芯片和模組的研發(fā)和銷售,晶圓制造交由國外晶圓廠代工,封裝交由母公司制造平臺負責,該平臺具有9000平米千級無塵封測車間,具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質管理和制造認證。相關流量計及控制器產(chǎn)品被廣泛應用于氣體檢漏、氣體分析儀、實驗室、熱氧化爐、擴散爐等領域