簡易型微量金屬污染物質(zhì)回收裝置(SC系列)
與電腦連接,制作多樣化的回收圖案,從硅芯片的表面和側(cè)面(斜面部)回收(取樣)微量金屬污染。
●由于不需要太多的外部資源,也不占用任何空間,因此設(shè)備的部署非常簡單。
●由于是機(jī)械作業(yè),因此不需要操作人員熟練,任何人都可以輕松取樣。
●由于裝置側(cè)自動實(shí)施采樣用藥液的供給和保持具的移動,因此與SC-2000相比,可減少作業(yè)人員造成的污染。
●由于不需要太多的外部資源,也不占用任何空間,因此設(shè)備的部署非常簡單。
●由于是機(jī)械作業(yè),因此不需要操作人員熟練,任何人都可以輕松取樣。