光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))產(chǎn)品優(yōu)勢以及特點：
1.可選帶有保溫蓋，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用；
2.機(jī)器可選擇帶有負(fù)壓功能，表面帶有若干吸附孔，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果；
3.免受磁干擾和危害：使其成為硅晶片晶圓研發(fā)，醫(yī)療和實驗室使用的好選擇
4.增強(qiáng)紅外線加熱技術(shù)，
5.具有真空負(fù)壓功能，表面設(shè)有若干吸附孔，可使被加熱材料與表面緊密貼合，從而達(dá)到受熱均勻效果；
6.帶有加熱保溫蓋，溫度可設(shè)置，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用；
7.自動進(jìn)氣功能、過溫保護(hù)功能、超溫報警功能，計時功能，已獲得CE認(rèn)證證書、實驗更安全、方便！！
光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))技術(shù)參數(shù)：
| 加熱輸出功率 | 2000W |
| 板面溫控 | 室溫～350℃ |
| 溫控模式 | LED數(shù)顯溫度自由設(shè)定 |
| 溫度測試 | 內(nèi)置溫控與外置溫控可切換 |
| 溫度控制精度 | ±0.1 |
| 加熱區(qū) | 350×350mm（尺寸可定制） |
| 功能選項 | 真空吸附功能：無極調(diào)節(jié)真空度，使樣品受熱更均勻； |
| 頂針功能 | 直徑3mm,高度30mm任意設(shè)定高度，方便取片，樣品無接觸，避免污染； |
| 限位功能 | 適合不同大小尺寸晶圓，防止樣品偏移，起到固定作用； |
| 程序分段控制系統(tǒng) | 時間設(shè)定，功率輸出比設(shè)定，升溫曲線，通信等 |
| 產(chǎn)品外形尺寸 | 420×460×250mm |
| 板面材質(zhì) | 納米陶瓷噴砂加熱面板 |
