低溫等離子凈化器內部裝有值得信賴的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的無具體以臨床效果為主體被電場內所產生的臭氧所具體以實際為主，并去除了異味，無具體以臨床效果為主體被除掉，達到廢氣處理的目的。

低溫等離子凈化器技術原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安然物質，或使性能穩定物質轉變成毒素檢測性能穩定或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得好速度適宜。作為環境污染處理中的一項具有優良潛在優勢的技術，等離子體受到了眾多地區相關學科界的高度關注。

低溫等離子凈化器技術過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場＋電子→能力好電子

(2)能力好電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，能力好電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。