產品描述：
主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列 是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統，用于抵消工作環境對靈敏度高的精密設備產生的不必要振動，以提高精密設備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz。
廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振，以及半導體設備、干涉儀、電子天平精密設備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！
工作原理：
主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生作用力，并繼續產生的振動隔離狀態。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
主動隔振光學平臺-主動隔振臺-主動式除振平臺-Herz AVI200系列采用的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路來消除隔振系統的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩定的測試環境。
產品特點：
- 主動隔振頻率5Hz – 200Hz
- 被動隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應時間
- 安裝簡單，容易使用
- 穩定性高，能連續使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 多種規格尺寸的面板支持各種研究及應用
產品應用：
- STM
- AFM
- 干涉測量
- 摩擦學 輪廓測量
- 其他高精密儀器
性能優勢：
- 系統主動檢測輸入振動并動態消除
- 六個空間方向的自由隔振
- 系統內部反饋回路抑制所有機械共振
- 低頻隔振性能優秀
- 無低頻共振、無空氣要求
兼容性：
AVI-200 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術參數（負載能力：高達400kg) :
隔振效果：
