產品描述:
AVI-600 series為緊湊型的主動隔振系統,是納米技術大型儀器隔振的解決方案。對升級和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇,主動式減震臺-主動式減振臺-主動減震光學平臺-herz avi 600series可自由選擇整個系統的尺寸大小和配置,通過增加隔振模塊的數量可以增大系統的承重(承重可至9000磅)。
主動式減振臺-主動減震光學平臺-herz avi 600series廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導體設備、大型、電子天平精密設備隔振。適用于各類大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統防震臺,時頻系統防震臺,大型半導體設備防震臺,激光設備主動防震!
工作原理:
AVI系列主動隔振臺采用的隔振技術,適用于任何科研環境下,該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動(包括水平方向和豎直方向),主動式減震臺-主動式減振臺-主動減震光學平臺-herz avi 600series利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中,隨后壓電換能器將產生一個與傳入壓力大小相等,方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路消除隔振系統的機械共振。
產品特點:
- 主動隔振頻率1Hz – 200Hz
- 被動隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應時間
- 安裝簡單,容易使用
- 穩定性高,能連續使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 控制器帶數字LED顯示屏
產品應用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 隧道顯微鏡
- Fabry-Perot干涉儀
- 大型對振動敏感的儀器設備
性能優勢:
- 系統主動檢測輸入振動并動態消除
- 六個空間方向的自由隔振
- 系統內部反饋回路抑制所有機械共振
- 低頻隔振性能優秀
- 無低頻共振、無空氣要求
兼容性:
AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術參數(負載能力:1200kg):
隔振實例:
固潤光電針對高精密測試提供減震隔音消磁一體化解決方案,請根據鏈接了解我們的隔音箱和消磁器。