SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過程壓力真空計
INFICON SKY CDG025D
電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產環境中具有穩定的性能。 的數字電子設備提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調零功能和設定點調整。
抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性和預計數百萬次壓強周期（包括大氣沖擊）的長使用壽命。 的傳感器屏蔽（申請中）保護真空計免受過程污染。
堅固耐用的機械設計和數字電子設備改善了 EMC 兼容性、長期穩定性和溫度補償。 CDG025D
為電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后的快速恢復等特性設定了新標準。
益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩定
- 暴露于大氣壓后快速恢復
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染雙層保護
- 一鍵調零功能
- 電源范圍廣
- 2 個設定點
- RS232 接口
- 符合潔凈室標準
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
- 數據存儲和顯示制造設備
- 工業真空設備
- 常規高精度壓力測量
規格
| 類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應 | ||||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 壓力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 / 30 (3) |
| 讀數 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||||
| 運行（環境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法蘭處烘烤 (4) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保護等級 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 標準 | ||||||
| CE 合規 | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | |
| 設定點 | ||||||
| 設定點數量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | V (dc)A (dc) | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | |
| 內部容積 | ||||||
| 內部容積 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 重量 | ||||||
| 重量 1/2'' 管 | g | 310 | 310 | 310 | 310 | 310 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 330 | 330 | 330 | 330 | 330 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
| 重量 8 VCR® | g | 370 | 370 | 370 | 370 | 370 |
(1) 25 °C 環境溫度時非線性、滯后、可重復，運行 2 小時后不產生溫度效應。
(2) 增加 10 ...90 % FS
(3) 僅適用于壓力控制類型
