BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術的優勢融合在一個單個、緊湊和經濟的可以測量
5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。
BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在替代三個傳感器（熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關），從而節省成本和寶貴的工具空間。
益處
- BCG450 可節省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性
- 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
- 皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
- 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
- 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
- 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- RoHS 合規
典型應用
- 半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
- 工業鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制
新聞
現有全新EtherCAT數字接口供應！
零件號
| BCG450 | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 353-550 | BCG450 規管 |
| 353-561 | BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle |
| 353-551 | BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 規管 |
| 353-553 | BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R. |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
規格
| 類型 | BCG450 | |
|---|---|---|
| 測量范圍 | mbarTorr | 5×10-10 … 1500 |
| 精度 | ||
| 10-8 … 50 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 毫巴 | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 毫巴 | % of reading | ±2.5 |
| 可重復性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 熱離子發射 | mbar | 2×10-2 (high) |
| （可選高/低，通過 RS232 / 現場總線） | mbar | 8×10-3 (low) |
| 除氣 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 壓力， | bar (absolute) | 5 |
| 溫度 | ||
| 運行（環境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤電子設備 | °C | 150 |
| 電源電壓 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 … 10.3 |
| 測量范圍輸出 | V | 0.774 … 10.3 |
| 電壓與壓強之間的關系 | volts per decade | 0.75 |
| 錯誤信號 | V | 0.3 / 0.5 |
| 最小負載 | k? | 10 |
| 接口（數字）(2) | RS232C | |
| 連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| 內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保護等級 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 協議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數據率開關 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 網絡規模 | up to 64 nodes per segment | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可視通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
| 技術規格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 設備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 從屬傳訊 | polling only | |
| 設定點繼電器： 設定點數量 | 2 | |
| 設定點繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
| 設定點繼電器： 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
| 設定點繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點繼電器： 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| 設定點繼電器： 連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ 電源電壓 | V (dc)A (dc) | 11 … 25 |
| 真空計電源電壓 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
| DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
| BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 設定點繼電器： 設定點數量 | 2 | |
| 設定點繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
| 設定點繼電器： 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
| 設定點繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
| 設定點繼電器： 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 以太網 | ||
| 以太網協議 | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通訊標準 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 節點地址 | Explicit Device Identification | |
| 物理層 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 以太網數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
| 過程數據 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 郵箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
| 以太網連接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 電纜 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 電纜長度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
(1) 除氣期間降低精度
(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場總線
(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
