HPG400 大氣壓至高真空真空計
INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計
將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中,可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓(1.5×10-6 托至大氣壓)范圍內(nèi)的壓力。 HPG400
型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。
益處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
- 高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力,進(jìn)而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
- RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
零件號
HPG400 | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
353-520 | 皮拉尼真空計 |
354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-526 | HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F |
353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
規(guī)格
類型 HPG400 測量范圍(空氣,N2) mbarTorr 2×10-6 … 1000 精度 10-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 (1) 可重復(fù)性 10-5 … 10-1 毫巴 % of reading 2 10-1 … 100 毫巴 % of reading 30 熱離子發(fā)射,可選: 選購件 1 mbar 1 選購件 2 mbar 5×10-1 選購件 3 mbar 2×10-1 選購件 4 mbar 1×10-1 選購件 5 mbar 5×10-2 壓力, bar (absolute) 2 溫度 運行(環(huán)境) °C 0 … +50 貯存 °C -20 … +70 在法蘭處烘烤 °C 80 移除烘烤電子設(shè)備 °C 150 電源電壓 V (dc)A (dc) 20 … 28 輸出信號模擬 輸出信號 V 0 … +10.2 測量范圍熱陰極 V 1.5 … 7.5 測量范圍皮拉尼 V 8.5 … 9.75 電壓比壓強熱陰極 volts per decade 1 電壓與壓強皮拉尼 volts per decade 0.25 錯誤信號熱陰極 V 0.3 錯誤信號皮拉尼 V 0.5 最小負(fù)載電阻 k? 10 接口(數(shù)字)(2) RS232C 電氣連接 D-Sub, 15-pin, male 電纜長度, (3) m (ft.) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 20 (1.2) / 30 (1.8) 重量 KF / CF g 430 / 695 保護(hù)等級 IP30 DeviceNet™ 協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only 數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable 電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330) MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 up to 64 nodes per segment 數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) 技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" 設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge I / O 從屬傳訊 polling only 設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2 設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100 設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free 設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10 設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60 DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) 11 … 25 真空計電源電壓 V (dc) 20 … 28 DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male Profibus DP 波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2 設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100 設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free 設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10 設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60 Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
(1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值
(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線
(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
零件號
HPG400 零件號 明細(xì) 353-520 皮拉尼真空計 354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF 353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF 353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F 353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F 353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF 353-526 HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F 353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF 353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
附件
HPG400 零件號 明細(xì) 211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF 353-511 BPG400 24V電源 357-499 Baffle HPG (10 pieces)
備件
HPG400 零件號 明細(xì) 354-487 HPG400 備用傳感器 354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
數(shù)據(jù)表
- HPG400 DE (283 kB)
- HPG400 EN (282 kB)
- HPG400 ES (283 kB)
- HPG400 JA (409 kB)
- HPG400 KO (333 kB)
- HPG400 ZH (411 kB)
手冊
- Hot Ion gauge brochure (2 MB)
手冊
- TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)
- TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)
- TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)
- TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)
- TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)
三維步驟文件
- 353-520 HPG400 without LCD (445 kB)
- 353-521 HPG400 without LCD (461 kB)
- 353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)
- 353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)
- 353-522 HPG400 without LCD (452 kB)
- 353-523 HPG400 with LCD (459 kB)
- 353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)
- 353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)
- 354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)
- 354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)
其他文件
- HPG400-int.eds (33 kB)
- HPG400-float.eds (33 kB)
- HPG400_06A8.GSD (2 kB)
規(guī)格
類型 | HPG400 | |
---|---|---|
測量范圍(空氣,N2) | mbarTorr | 2×10-6 … 1000 |
精度 | ||
10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
可重復(fù)性 | ||
10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
熱離子發(fā)射,可選: | ||
選購件 1 | mbar | 1 |
選購件 2 | mbar | 5×10-1 |
選購件 3 | mbar | 2×10-1 |
選購件 4 | mbar | 1×10-1 |
選購件 5 | mbar | 5×10-2 |
壓力, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
運行(環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤電子設(shè)備 | °C | 150 |
電源電壓 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
輸出信號模擬 | ||
輸出信號 | V | 0 … +10.2 |
測量范圍熱陰極 | V | 1.5 … 7.5 |
測量范圍皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
電壓比壓強熱陰極 | volts per decade | 1 |
電壓與壓強皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
錯誤信號熱陰極 | V | 0.3 |
錯誤信號皮拉尼 | V | 0.5 |
最小負(fù)載電阻 | k? | 10 |
接口(數(shù)字)(2) | RS232C | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內(nèi)部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
保護(hù)等級 | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數(shù)據(jù)率開關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 | up to 64 nodes per segment | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可視通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
技術(shù)規(guī)格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
設(shè)備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 從屬傳訊 | polling only | |
設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點繼電器: 范圍 | mbar | 2×10-6 … 100 |
設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
設(shè)定點繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
DeviceNet™ 電源電壓 | V (dc)A (dc) | 11 … 25 |
真空計電源電壓 | V (dc) | 20 … 28 |
DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
Profibus DP | ||
波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點繼電器: 范圍 | mbar | 2×10-6 … 100 |
設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 | n.o., potential free | |
設(shè)定點繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 | D-Sub, 15-pin, male |
(1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值
(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線
(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
零件號
HPG400 | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
353-520 | 皮拉尼真空計 |
354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-526 | HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F |
353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件
HPG400 | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
353-511 | BPG400 24V電源 |
357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
備件
HPG400 | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
354-487 | HPG400 備用傳感器 |
354-488 | HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F |
數(shù)據(jù)表
- HPG400 DE (283 kB)
- HPG400 EN (282 kB)
- HPG400 ES (283 kB)
- HPG400 JA (409 kB)
- HPG400 KO (333 kB)
- HPG400 ZH (411 kB)
手冊
- Hot Ion gauge brochure (2 MB)
手冊
- TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)
- TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)
- TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)
- TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)
- TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)
三維步驟文件
- 353-520 HPG400 without LCD (445 kB)
- 353-521 HPG400 without LCD (461 kB)
- 353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)
- 353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)
- 353-522 HPG400 without LCD (452 kB)
- 353-523 HPG400 with LCD (459 kB)
- 353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)
- 353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)
- 354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)
- 354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)
其他文件
- HPG400-int.eds (33 kB)
- HPG400-float.eds (33 kB)
- HPG400_06A8.GSD (2 kB)