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HPG400 高壓熱電離皮拉尼復(fù)合真空計

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市萬德泉科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/12/17 9:44:33
  • 訪問次數(shù)182
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商,我們可以為客戶提供的全套真空解決方案,解決客戶真空應(yīng)用的難題,并且使客戶的成本降到。我們代理銷售的產(chǎn)品如下:瑞士Inficon (英??担┠ず窨刂苾x及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。英國Edwards (愛德華)旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。 日本Hitachi Metals(原Aera)質(zhì)量流量控制器。美國MKS質(zhì)量流量控制器。美國SRS 四級質(zhì)譜殘余氣體分析儀。美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應(yīng)氣體控制器。我們能提供維修業(yè)務(wù)的產(chǎn)品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制儀維修、inficon真空計維修,Edwards真空泵維修、inficon檢漏儀維修、AERA流量計維修。
顆粒分析儀
HPG400 高壓熱電離皮拉尼復(fù)合真空計HPG400 大氣壓至高真空真空計 INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中,可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓(1.5×10-6 托至大氣壓)范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。市場價: 0.00價格:0.00產(chǎn)品描述:: 大氣壓至高真空真空計 型號: HPG400 ......
HPG400 高壓熱電離皮拉尼復(fù)合真空計 產(chǎn)品信息

HPG400 大氣壓至高真空真空計


INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計
將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中,可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓(1.5×10-6 托至大氣壓)范圍內(nèi)的壓力。 HPG400
型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測量并再現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。


益處

  • HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
  • 高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力,進(jìn)而改善過程控制
  • 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

零件號

HPG400
零件號 明細(xì)
353-520 皮拉尼真空計
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

規(guī)格

類型 HPG400
測量范圍(空氣,N2 mbarTorr 2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 (1)
可重復(fù)性
10-5 … 10-1 毫巴 % of reading 2
10-1 … 100 毫巴 % of reading 30
熱離子發(fā)射,可選:
選購件 1 mbar 1
選購件 2 mbar 5×10-1
選購件 3 mbar 2×10-1
選購件 4 mbar 1×10-1
選購件 5 mbar 5×10-2
壓力, bar (absolute) 2
溫度
運行(環(huán)境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤 °C 80
移除烘烤電子設(shè)備 °C 150
電源電壓 V (dc)A (dc) 20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號 V 0 … +10.2
測量范圍熱陰極 V 1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼 V 8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極 volts per decade 1
電壓與壓強皮拉尼 volts per decade 0.25
錯誤信號熱陰極 V 0.3
錯誤信號皮拉尼 V 0.5
最小負(fù)載電阻 k? 10
接口(數(shù)字)(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度, (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF g 430 / 695
保護(hù)等級 IP30
DeviceNet™
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2
設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100
設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60
DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) 11 … 25
真空計電源電壓 V (dc) 20 … 28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2
設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 2×10-6 … 100
設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male

(1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值

(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線

(3) 適用于 RS232C 運行 <30m

零件號

HPG400
零件號 明細(xì)
353-520 皮拉尼真空計
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件

HPG400
零件號 明細(xì)
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
353-511 BPG400 24V電源
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

備件

HPG400
零件號 明細(xì)
354-487 HPG400 備用傳感器
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F

數(shù)據(jù)表

  • HPG400 DE (283 kB)
  • HPG400 EN (282 kB)
  • HPG400 ES (283 kB)
  • HPG400 JA (409 kB)
  • HPG400 KO (333 kB)
  • HPG400 ZH (411 kB)

手冊

  • Hot Ion gauge brochure (2 MB)

手冊

  • TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)
  • TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)
  • TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)
  • TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)
  • TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)

三維步驟文件

  • 353-520 HPG400 without LCD (445 kB)
  • 353-521 HPG400 without LCD (461 kB)
  • 353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)
  • 353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)
  • 353-522 HPG400 without LCD (452 kB)
  • 353-523 HPG400 with LCD (459 kB)
  • 353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)
  • 353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)
  • 354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)
  • 354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)

其他文件

  • HPG400-int.eds (33 kB)
  • HPG400-float.eds (33 kB)
  • HPG400_06A8.GSD (2 kB)

關(guān)鍵詞:傳感器 電纜 控制器
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