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3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海衡鵬企業發展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/12/1 19:22:45
  • 訪問次數343
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上海衡鵬企業發展有限公司成立于1999年11月,總部設于上海, 在深圳,香港,東京,河內設立有分公司。公司一直致力于引進技術、制造設備、精密檢測儀器、關鍵生產材料,為中國電子制造企業服務。經過二十多年的發展,公司通過收購合并已發展為具有自主工業軟件設計開發,高精密裝置的設計及制造裝配能力的跨國企業集團。服務于新能源汽車制造、半導體生產、5G通訊制造,航空航天,智慧醫療,自動化工業控制等細分行業。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產技術與設備,幫助您提高生產效率,降低能耗,保護環境。與您攜手營造綠色地球,共創美好未來。
x射線檢測儀
防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點:防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構)在保護等級IP64LSI半導體生產工藝條件下
3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂 產品信息

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點: 


防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列(配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構)

在保護等級IP64 LSI半導體生產工藝條件下,能夠在酸性,堿性環境下搬運半導體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關節部位防水結構使用V型密封圈

零件之間的結合面采用Viton材質的密封條

Z軸的防水結構可以使用蛇腹管

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

312mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm

可搬運質量

3kg以下 (手臂第3關節處基準)




如需詳細產品參數 請聯系我們

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