Diagram600晶圓傳輸平臺,符合集成電路工藝精度和凈化要求,并具有高精度、高效率、高潔凈度和高可靠性,是鏈接物料搬運系統與硅片處理系統的橋梁,能夠保證硅片在不受污染的條件下被準確安全的傳輸。在半導體前道設備中廣泛應用,對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務,快速響應的售后服務,以及敦實的技術實力,是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。
參數:
Item | Specification |
晶圓類型 Wafer types | SEMI standard silicon wafers |
晶圓尺寸Wafer Size | 100mm,150mm, 200mm |
定位標記 Alignment Mark | Notch & Flat |
厚度thickness | 150mm wafer: 0.675mm±10%; 200mm wafer: 0.75mm±10% |
Cassette類型 Cassette types | configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes. |
傳輸平臺 Transport Plane | 900 mm at VCE platform(SEMI-std) |
晶圓取放精度 Wafer placement repeatability | 0.2mm |
真空度Vacuum level | rough pumping: ≤5 mTorr |
漏率Leak rate | ≤0.5 mTorr/min(Test after 24 hours pump) |