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TTS-3000 EFEM(3工位EFEM)

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新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機器人技術為核心的高科技上市公司。作為中國機器人企業及國家機器人產業化基地,新松擁有完整的機器人產品線及工業4.0整體解決方案。以創新、開放和共贏的思維行業進步,以的產品和服務為客戶持續創造價值。新松本部位于沈陽,在上海設有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產業園區。同時,新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設立多家控股子公司,現擁有4000余人的研發創新團隊,形成以自主核心技術、核心零部件、核心產品及行業系統解決方案為一體的全產業價值鏈。作為中國機器人產業頭雁,新松已創造了百余項一。成功研制了具有自主知識產權的工業機器人、協作機器人、移動機器人、特種機器人、服務機器人五大系列百余種產品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導體裝備、智能交通,形成產業方向,致力于打造數字化物聯新模式。產品累計出口30多個國家和地區,為3000余家國際企業提供產業升級服務。新松緊抓新一輪科技革命和產業變革契機,發揮人工智能技術的賦能效應,以工業互聯網、大數據、云計算、5G網絡等新一代科技推動機器人產業平臺化發展,打造集創新鏈、產業鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態體系。聚焦核心技術,共享智能時代。智慧新松,未來!
工業機器人
一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。
TTS-3000 EFEM(3工位EFEM) 產品信息

新松一直致力于提供半導體晶圓加工和其他復雜的制造環境所需的高性能、超潔凈和久經考驗的可靠性。該三工位EFEM是集成大氣機器人,預對準機以及緩存工位等部件的綜合性產品,可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產品具有很強的適應性,以滿足特定的應用需求。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。滿足半導體制造商的期望和要求。

參數:

Input信息

Wafer規格

材質尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

標準wafer

溫度

200

與傳送片接觸處的材質

陶瓷

片盒規格(類型、廠家、段數、段間距等)

Foup

AMHS(自動物料搬送系統)要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(LP數)

3

Load Lock

Stage數(LL

3

位置(XYZ

三個LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機規格

參照尺寸說明

Foot Print

2100

750

2500

重量

1200KG

整機設計參照標準

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設計參考標準

SEMI E30, E84


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