采用*的磁流體密封技術,具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導致的各種損失。全新的軌跡規劃,提高運動節拍,提高了用戶產能.帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用。可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸等。
參數:
型號 | SRBZ970C | |
密封方式 | 磁流體密封 | |
自由度數 | 2 | |
負載 | 名稱 | 托盤 |
直徑 | Φ380mm | |
重量 | 2kg | |
運動范圍 | R軸(mm) | 立柱中心至R軸伸展處被搬運物體中心距離920 |
θ軸(°) | 360 | |
全行程最小時間 | R軸(s) | 2.5(Home to Extend 920mm) |
θ軸(s) | 4.8 (180°) | |
重復定位精度 | θ軸(°) | ±0.01(3σ) |
R軸(mm) | ±0.1(3σ) | |
重量 | 機械手本體 | 41kg |
控制器 | 15kg | |
耐真空度 (Pa) | <5×10-9 Torr | |
漏率 | <1×10-9 std.cc/sec He | |
碰撞保護 | 盤片和機械手無損傷 | |
行程 | 970mm | |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%,-15% |