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RPS晶圓干法去膠機

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公司是一家專注于生產:模擬環(huán)境可靠性試驗設備、力學設備、實驗室研發(fā)檢測設備、大型智能高溫老化設備、非標自動化設備、半導體表面清洗設備等產品的企業(yè),產品性能優(yōu)良、耗能低、經(jīng)久耐用,并可根據(jù)用戶的特殊需求進行定制。專門為通信、汽車電子、半導體、新能源材料等領域提供測試解決方案及產品檢測。公司總部位于深圳市寶安區(qū)沙井以銷售研發(fā)為主,華南代工廠位于東莞市虎門鎮(zhèn)以及萬江鎮(zhèn),華東代工廠位于江蘇省昆山市均以生產為主;公司職員大專及以上學歷人才占85%,擁有獨立自主的研發(fā)團隊及規(guī)范專業(yè)的生產團隊﹔同時也獲得一系列的證書、知識產權及°企業(yè)"”的認證。公司自成立以來不斷的引進各種專業(yè)人才對產品進行優(yōu)化升級、改良,使得銷售額年均增長達到30%~50%左右,產品也由單一環(huán)境可靠性試驗設備逐步拓展到力學設備、非標自動化設備以及半導體表面清洗等設備涉足面廣基本實現(xiàn)全面穩(wěn)定性發(fā)展,并隨著在國內環(huán)境試驗設備等各行業(yè)里逐步建立起的良好口碑和廣泛的品牌認知,我司先后成為諸多企業(yè)及各地高校的親密合作伙伴。公司始終堅持從技術創(chuàng)新開發(fā)、設計、成品組裝、調試、測試等每個環(huán)節(jié),以務實、專業(yè)、嚴苛的質量標準進行產品管理。品質至上、朋務至優(yōu)是我司的發(fā)展理念,客戶的滿意即是我們的目標。產品優(yōu)勢:1、產品性能優(yōu)良、經(jīng)久耐用,并可根據(jù)客戶的特殊需求進行定制。2、獨立自主的研發(fā)團隊,規(guī)范的生產團隊,嚴格按照工藝要求生產,外型美觀。3、核心部件采用國外,可保證試驗機的性能及品質。擁有健全的售后服務保證體系。
振動耐磨擦試驗機
一、常規(guī)參數(shù)1.安裝尺寸:1300*2300*2000mm(寬*長*高)2.設備參數(shù)配置:三相電壓380V,50/60Hz,總電流不超過50A;3.設備部署環(huán)境:萬級淨化間,溫度21~23℃,相對濕度45±5%
RPS晶圓干法去膠機 產品信息

一、常規(guī)參數(shù)

1.安裝尺寸:1300*2300*2000mm(寬*長*高)

2.設備參數(shù)配置:三相電壓380V,50/60Hz,總電流不超過50A;

3.設備部署環(huán)境:萬級淨化間, 溫度21~23℃,相對濕度45±5%;

4. MTTR/平均故障修復時間<4小時,MTBF/平均時間>250小時,

Uptime/正常運行時間≥92% .

5. Wafer Breakage/碎片率≤1/10000PCs

6.Descum WPH/descum 產能≥90wafers(基於20秒descum工藝時間程式)

7.base pressure/腔體底壓≤20mTorr;leakage check腔體漏率≤10mtorr/min

8.Partical/顆粒度 :<30ea@0.2um  腔體單次傳片大於0.2um的顆粒增加量小於20顆

9.支持SECS/GEM通訊協(xié)議

二、技術規(guī)格

2.1設備規(guī)格

主機部分

No.

Item/專案

Specification/規(guī)格說明

1

Plasma Source

 

RPS Plasma Source/微波等離子源,1000W, 2.45GHz

RF bias(底部射頻偏壓) 600W,13.56MHz

2

Process Chamber

工作臺chuck溫度範圍: 20~50℃;

可選chuck控溫:50~250℃

水冷機控溫

適合wafer尺寸: 200mm wafer

腔體數(shù)量: 2 Al 6061 腔體

腔體自動門:中國臺灣AdvanTorr

3

Gas Supply System

單個腔體工藝氣路3

MFC品牌:MKS

腔體氣路: O2/N2/Ar,CF4為選配氣體

4

Vacuum System

幹泵: 愛德華

壓力控制: Throttle valve 蝶閥 中國臺灣HTC

真空計:Inficon Vacuum Gauge

5

Auto Wafer Transfer  System

上料臺:2 cassette 上料臺,適合 8 inch wafers;

Cassette wafer mapping:晶圓擺放檢測

VAC Robot; 日本JEL

6

Control System

PC:工業(yè)電腦 Windows系統(tǒng)控制;

操作軟體: 介面友好,圖形化視圖,自動保存log檔

7

Safety System

EMO: 三個急停按鈕

Interlock硬體安全互鎖: 硬體互鎖包括 Power/Temp/Vacuum


關鍵詞:PC
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