針對多物理場微納米壓痕測試技術研究現狀和存在問題，開發生產了多物理場微納米壓痕測試儀，如圖1所示。多物理場微納米壓痕測試曲線如圖2所示。

圖1 多物理場微納米壓痕測試儀

應用

• 金屬材料、合金材料

• 陶瓷材料

• 聚合物材料

• 生物材料

• 仿生組織

• 復合材料

• 玻璃

• 半導體器件、薄膜

• 硬質涂層等等材料

• 多物理場微納米壓痕測試儀，為材料制備、生命科學、航空航天和星際探索提供精準技術支撐

• 研制了結構緊湊的多物理場微納米壓痕測試儀,適用于傳統壓痕測試以及多物理場測試

• 壓電致動器作為壓痕測試的精密驅動加載，可大行程壓痕驅動

• 配備控制主機，專用檢測控制系統與配套分析處理軟件，軟件功能強大，包括實時顯示測試過程中位移和載荷信號變化并能夠從中提取信號波動大小、顯示生成實驗曲線等功能

• DCYH型納米壓痕儀采用壓電致動器的載荷裝置，從而保證測量的精確度

• 壓痕測試模塊具有很好的重復性和良好的測試精度

• 電、磁多場耦合加載

(a) 電+磁試驗曲線

                               (b) 電場試驗曲線                                     (c) 磁場試驗曲線

圖2 多物理場微納米壓痕測試曲線

    如圖2（a）所示，對La0.7Sr0.3MnO3、0.33PIN、0.35PMN、0.32PT四種材料進行外加電場、磁場的壓痕測試，結果發現：外加電場與磁場均會顯著導致材料的接觸剛度增加。
    如圖2（b）所示，正向電場與負向電場均對PMN-PT材料的壓痕曲線有所影響，結果表現：材料的彈性性能與塑性性能均隨著外加電場的影響而有所變化。
    如圖2（c）所示，單晶鎳材料在外加2000Oe磁場的環境下，壓痕平均增加2.67%，殘余壓深平均增加4.14%，結果表現：可得材料的彈性模量增加31.36%，硬度減小6.77%。