JJ X-Ray 真空狹縫 IB-C180-HV基于我們的 IB-C80-HV 的修改版本。與我們的其他真空狹縫系統類似,它保證在真空度低至 1E-5 mbar的壓力下也能平穩運行。
它具有四個可單獨移動的刀片,提供180毫米x180毫米的大孔徑。已特別處理確保真空產生的壓差壓力不會對刀片運動的操作和精度產生不利影響。
電機安裝在空側導螺桿的另一端。推薦的電機是 Oriental Motor PK245M-01B,400步/轉。結合1mm螺距絲杠,這提供了每步 2.5 μm的分辨率。使用微步控制器驅動,可以實現低于1微米的機械分辨率。
狹縫與真空系統的連接是通過 DN320LF 法蘭進行的。狹縫外殼有一個用于安裝卡鉗的安裝孔和一個用于 O 形圈墊圈的光滑凹槽。
技術參數
產品尺寸
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