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上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1500
上海伯東銷售維修德國(guó)普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可達(dá) 1450 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對(duì)各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒. 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過(guò)保護(hù)等級(jí) IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統(tǒng).
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1500 特性
對(duì)各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號(hào)
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
渦輪分子泵 HiPace 1500 技術(shù)參數(shù):
分子泵型號(hào) | 接口 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | *高啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar | 極限壓力 | 全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s | 啟動(dòng) | 重量 | |||
進(jìn)氣 | 排氣 | 氮?dú)?br/>N2 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮?dú)?br/>N2 | 氮?dú)釴2 | hPa | 氮?dú)釴2 | min | kg | |
HiPace 1500 | 250 | 40 | 1,400 | 1,350 | 1,150 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 29 – 41 |
渦輪分子泵 Hipace 1500 C 系列:抗腐蝕設(shè)計(jì),專為腐蝕性氣體應(yīng)用環(huán)境而設(shè)計(jì)研發(fā)
渦輪分子泵 Hipace 1500 U 系列:可以倒裝
分子泵 Hipace 1500 目前在售型號(hào)如下:
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,DN 250 ISO-K,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,DN 250 CF-F,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,DN 250 ISO-F,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,DN 250 ISO-K,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,DN 250 CF-F,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,DN 250 ISO-F,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,DN 250 ISO-K,可以倒裝,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,DN 250 CF-F,可以倒裝,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,DN 250 ISO-F,可以倒裝,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-K,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 CF-F,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 U,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-F,可以倒裝
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-K,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 CF-F,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-F,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-K,可以倒裝,防腐蝕
分子泵 HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 CF-F,可以倒裝,防腐蝕
分子泵HiPace 1500 U C,具有 TC 1200,Profibus,DN 250 ISO-F,可以倒裝,防腐蝕
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1500 適用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 工業(yè)和研發(fā)行業(yè).
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