超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業需求。
1、 具備A(點掃描)、B(縱向掃描)、C(橫向掃描),Tray-托盤掃描等系列掃描模式。
2、 具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;具備缺陷尺寸標識;厚度與測距等功能。
3、 適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。
4、 可兼容1~25MHz的超聲探頭。
5、 檢測軟件自主研發,中英文界面,可根據客戶需求對功能進行持續升級。
產品參數:
序號 | 機電特性 | 規格型號 |
1 | 整機尺寸 | 600mm×650mm×500mm |
2 | 水槽尺寸 | 300mm×220mm×120mm |
3 | 有效掃描范圍 | 200mm×25mm×50mm |
4 | 掃描速度 | 300mm/s |
5 | 超聲探頭 | 可兼容1~25MHz的超聲探頭。 |
6 | 定位精度 | X/Y≤±1μm,Z≤±10μm |
7 | 重復定位精度 | X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
產品主要配置:
序號 | 名稱 | 規格 |
1 | 掃描系統 | X、Y軸:伺服電機驅動;Z軸:步進電機驅動; |
2 | 水槽 | 300mm x 220mm x 120 mm |
3 | 超聲發射、接收器 | 帶寬1-30MHz |
4 | 高速數據采集卡 | 采樣頻率 100MHz |
5 | 工控機 | i5處理器、內存4GB、硬盤1T、Win7 32位操作系統。 |
6 | 顯示器 | 21.5"液晶顯示器一個 |
7 | 上下水系統 | 手動控制水槽系統的注排水過程(選配) |
8 | 檢測軟件 | 和伍超聲無損檢測軟件 |
行業應用:
適用于電器焊接件、陶瓷材料等領域的缺陷檢測。