手動(dòng)臺(tái)階儀JS10A,擁有高精度、高分解能,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS10A提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品組成
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、雙攝像頭設(shè)計(jì),既可清晰尤變形的現(xiàn)蔡樣品,又可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)探針掃描狀態(tài)。
2、花崗巖龍門架結(jié)構(gòu),提供高剛性的支撐,保證測(cè)量穩(wěn)定性。
3、光柵尺閉環(huán)反饋樣品臺(tái),重復(fù)定位精度優(yōu)于5um 。
4、高精度微力傳感器與微動(dòng)掃描器,提供高的測(cè)量精度和重復(fù)性。
5、采用金剛石探頭,提供不同規(guī)格。
國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀
半自動(dòng)國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀JS100A 系列,創(chuàng),打破了國(guó)外壟斷的局面,是半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中
的一環(huán)。
1 、納米級(jí)測(cè)試精度,標(biāo)準(zhǔn)偏差 3nm 以內(nèi)。
2 、可測(cè)樣品臺(tái)階厚度范圍 0一 6mm ;超出可定制。
3 、儀器結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì).安裝維護(hù)簡(jiǎn)易快捷。
4 、操作流程直觀,軟件緊密貼合國(guó)內(nèi)客戶需求,上手更快。
5 、國(guó)內(nèi)研發(fā),售后 24 小時(shí)響應(yīng)。
突破三大核心技術(shù)
1、大行程超平面掃描技術(shù)
(行程 50mm ,平坦度優(yōu)于 20nm )
2、大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)技術(shù)
(行程 100um ,分辨率 0 . Inm ,帶寬 10KHz )
3、大行程壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速進(jìn)針技術(shù)
(行程 20mm ,單步步進(jìn)小于 1 00nm )
配套軟件介紹
應(yīng)用案例
以上就是為您介紹的國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀產(chǎn)品,想要了解臺(tái)階儀更多內(nèi)容請(qǐng)咨詢
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