壓電驅動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的最小步長，從而解決了傳統納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、*制造業、生物醫藥行業、光學、通信等行業有廣泛應用。
松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊自主研發的壓電驅動納米位移臺，具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區（-269攝氏度）至室溫的寬溫區內工作等優點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
線性壓電納米位移臺MF30-20A，大行程直線位移臺，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應用環境，支持定制納米位移臺。
產品優勢
結構緊湊，高剛性
零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統
室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環控制
產品應用
電子顯微鏡原位納米探針臺，半導體芯片檢測，光刻機工件臺，微生物操縱手，光纖焊接，超精密組裝，
精密檢測與測量。
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