特點
采用精度氣浮軸承線性導軌系統,從而將直線度誤差減少到較小。
通過使用熱膨脹系數較低的玻璃光柵尺,將溫度變化對精度的影響減少。
使用有限元方法(Finite Element Method) 分析優化主機的機械結構。
較穩定的幾何量精度(如:直線度和垂直度) 以降低熱效應影響。
貨號 | 型號 | 分辨率 | 工作臺玻璃尺寸 | 臺面承重 | 重量 |
ULTRA QV404 PRO | ULTRA QV404 PRO | 0.01μm | 493 x 551mm | 40kg | 2150kg** |
*測量精度在以下條件下定義
可編程電動轉盤: 1X, 物鏡設置: 2.5X
L 為兩點間尺寸 (mm)
** 包括機器設置臺
*產品信息僅供參考,型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改