表面粗糙度測(cè)量?jī)x SV-3100 系列產(chǎn)品
三豐表面粗糙度測(cè)量?jī)xSV-3100 系列產(chǎn)品可進(jìn)行精度、水平分析,3D表面粗糙度分析,微細(xì)輪廓測(cè)量,以及原有的表面粗糙度測(cè)量。
自動(dòng)調(diào)水平工作臺(tái)、3 軸調(diào)整臺(tái)等外部設(shè)備的應(yīng)用,有效增加了該產(chǎn)品的操作性能,同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)測(cè)量。
安裝了分析軟件SURFPAK-SV 使用這一軟件,可對(duì)從車間和實(shí)驗(yàn)室中得到的資料進(jìn)行統(tǒng)一格式的管理。
采用陶瓷制作的 X 軸驅(qū)動(dòng)部導(dǎo)軌,因?yàn)樘沾删哂幸欢ǖ姆滥p性能。
為了保證精度測(cè)量,在 X 軸 和Y 軸(選件)上都內(nèi)置了玻璃尺(X 軸分辨率:0.05μm, Y 軸分辨率:1μm)
貨號(hào) | 型號(hào) | 檢測(cè)器測(cè)力mN | 垂直移動(dòng) | 花崗巖基座尺寸(WxD) | 尺寸(主機(jī)、WxDxH) | 備注 | X軸測(cè)量范圍mm | 重量kg |
166-215 | 儀器放置臺(tái) (帶有抽屜) | |||||||
178-016 | 調(diào)水平工作臺(tái) | |||||||
178-019 | 精密卡鉗,用于 XY 調(diào)水平工作臺(tái) | |||||||
178-023 | 防震臺(tái) | |||||||
178-024 | 防震臺(tái)架 | |||||||
178-042-1 | 數(shù)顯 XY 調(diào)水平工作臺(tái) (25 x 25mm) | |||||||
178-043-1 | XY 調(diào)水平工作臺(tái) (25 x 25mm) | |||||||
178-047 | 三軸調(diào)整臺(tái) (包含998291) | |||||||
178-451-1* | SV-3100S4 | 0.75 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 140 |
178-451-2* | SV-3100S4 | 4 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 140 |
178-452-1* | SV-3100H4 | 0.75 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 150 |
178-452-2* | SV-3100H4 | 4 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 150 |
178-453-1* | SV-3100W4 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 220 |
178-453-2* | SV-3100W4 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 100 | 220 |
178-456-1* | SV-3100S8 | 0.75 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 140 |
178-456-2* | SV-3100S8 | 4 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 140 |
178-457-1* | SV-3100H8 | 0.75 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 150 |
178-457-2* | SV-3100H8 | 4 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 150 |
178-458-1* | SV-3100W8 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 220 |
178-458-2* | SV-3100W8 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 無(wú)X軸傾斜功能 | 200 | 220 |
178-471-1* | SV-3100S4 | 0.75 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 100 | 140 | |
178-471-2* | SV-3100S4 | 4 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 100 | 140 | |
178-472-1* | SV-3100H4 | 0.75 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 100 | 150 | |
178-472-2* | SV-3100H4 | 4 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 100 | 150 | |
178-473-1* | SV-3100W4 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 100 | 220 | |
178-473-2* | SV-3100W4 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 100 | 220 | |
178-476-1* | SV-3100S8 | 0.75 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 200 | 140 | |
178-476-2* | SV-3100S8 | 4 | 300mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 200 | 140 | |
178-477-1* | SV-3100H8 | 0.75 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 200 | 150 | |
178-477-2* | SV-3100H8 | 4 | 500mm電動(dòng)立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 200 | 150 | |
178-478-1* | SV-3100W8 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 200 | 220 | |
178-478-2* | SV-3100W8 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 200 | 220 | |
178-610 | 公制型4 段階差規(guī)(1μm, 2μm, 5μm, 10μm) | |||||||
178-611 | 階差規(guī) (2μm, 10μm) | |||||||
181-902-10 | 帶夾鉗的V 型塊(工件直徑小于: 25mm) | |||||||
218-007 | 儀器放置臺(tái) | |||||||
218-008 | 輔助臺(tái) | |||||||
218-010 | 輔助臺(tái) | |||||||
998291 | 精密V 型塊,用于 XY 調(diào)水平工作臺(tái) |
技術(shù)參數(shù)
X 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向: 向后
直線度: (0.05+1L/1000)μm*
(0.5μm/200mm: 測(cè)量范圍為200mm的型號(hào))
傾角范圍: ±45o
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)
分辨率: 1μm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s
檢檢測(cè)器
范圍/分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)頭選件
時(shí),可達(dá)2400μm)
檢測(cè)方法: 無(wú)軌/有軌測(cè)量
測(cè)力: 4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖: 金剛石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測(cè)力型)
導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型)
756 x 482 x 1166mm (H4 型)
1156 x 482 x 1176mm (W4 型)
766 x 482 x 966mm (S8 型)
766 x 482 x 1166mm (H8 型)
1166 x 482 x 1176mm (W8 型)
重量 140kg (S4, S8 型)
150kg (H4, H8 型)
220kg (W4, W8 型)
*L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
評(píng)估能力: SURFPAK-SV
評(píng)估輪廓
P (主輪廓), R (表面粗糙度輪廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776 輪廓、包絡(luò)殘余線、粗糙度 motif、波形 motif
評(píng)估參數(shù)
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,
A2
粗糙度 motif 參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形 motif 參數(shù): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW
分析圖表
ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh 功率
譜圖、Walsh 自相關(guān)圖、 傾斜分布圖、局部峰值分布圖、
參數(shù)分布圖
濾波類型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正), 高斯-50%
截止波長(zhǎng)*
lc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取樣長(zhǎng)度 (L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
取樣長(zhǎng)度
傾斜補(bǔ)償、R 平面 (曲面) 補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、
雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、 多項(xiàng)式補(bǔ)償、
多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償
* 可在0.025mm 移動(dòng)長(zhǎng)度間長(zhǎng)度。選件
178-611: 階差樣板 (2μm, 10μm)
178-612: 階差樣板
(2μm, 10μm, 79μinch, 394μinch)
178-610: 公制型4 段階差樣板
(1μm, 2μm, 5μm, 10μm)
178-047: 三軸調(diào)整臺(tái) (包括998291)
178-016: 調(diào)水平工作臺(tái)
178-042-1: Digimatic XY 調(diào)水平工作臺(tái) (25 x 25mm)
178-052-1: Digimatic XY 調(diào)水平工作臺(tái) (1" x 1")
178-043-1: XY 調(diào)水平工作臺(tái) (25 x 25mm)
178-053-1: XY 調(diào)水平工作臺(tái) (1" x 1")
178-019: 精密卡鉗*
998291: 精密V 型塊*
181-902: 帶夾鉗的V 型塊
(工件直徑小于: 25mm)
181-901: 帶夾鉗的V 型塊
(工件直徑小于: 1")
178-023: 防震臺(tái)
178-024: 防震臺(tái)架
218-007: 儀器放置臺(tái)
166-215: 儀器放置臺(tái) (帶有抽屜)
218-010: 輔助臺(tái)
218-008: 輔助臺(tái)
*產(chǎn)品信息僅供參考,型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改