透射電子顯微鏡原位STM-TEM測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內加裝掃描探針控制單元,通過探針對單個納米結構進行操縱和電學測量,并可在電學測量的同時,動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征,大大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領域。
性能指標
透射電鏡指標:
● 兼容電鏡型號及極靴;
● 可選雙傾版本,雙傾電學測量樣品桿Y軸傾角±25°(同時受限于極靴間距);
● 保證透射電鏡原有分辨率。
電學測量指標:
● 包含一個電流電壓測試單元;
● 電流測量范圍:1 nA-30 mA,9個量程;
● 電流分辨率:優于100 fA;
● 電壓輸出范圍:普通模式±10 V,高壓模式±150 V;
● 自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,自動保存。
掃描探針操縱指標:
● 粗調范圍:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 細調范圍:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 細調分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
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