安捷倫 VacIon 離子泵
微型 Vaclon 離子泵采用二極泵結構,并提供大約 0.4 L/s 的氮氣抽速。2 L/s 型號采用改進型二極泵結構,能提高在低壓下啟動的能力。10 L/s 泵采用惰性氣體優化的二極離子泵結構,對氫氣之類殘余氣體具有較高效率。對惰性氣體的抽速約為額定抽速的 20%。當需要不同的入口管線長度、角度和直徑時,可選擇訂制型標準泵。這些泵還可以對高壓真空密封穿導件、泵體幾何尺寸和泵單元布局等進行定制。可為在某些領域有特殊要求的客戶按照特定測試流程報價。
離子泵的發展史
從上世紀五十年代,由瓦里安公司首先發明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設計和新技術投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產品乃至世界聞名的VacIon Plus 產品家族等。
VacIon Plus
— VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產品家族,包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件。可為各種應用提供相應解決方案。除標準產品外,安捷倫科技還為特定應用提供包括電源及相關附件在內的專屬解決方案,以滿足用戶對起始工作壓強、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標的特殊要求。
— VacIon Plus 離子泵產品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以及Starcell 三極型泵在內的全系列產品,以超高真空獲得技術為眾多應用領域服務。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外,4UHV和 IPCMini 離子泵控制器則為不同應用提供了更為豐富的選擇。