一、激光平面干涉儀 PG15-J參數
標準平面(A面),不鍍膜。 工作直徑 | D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30) |
第二標準平面(B面),不鍍膜。 工作直徑 | D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20) |
準直系統 | D1=Φ146mm |
工作直徑 | f=400mm |
測微目鏡 | 焦距f=16.7mm,放大倍數β=15X,視場角2w=40o,成像物鏡:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37 |
干涉室尺寸 | 深260*寬300*190mm |
光源規格 | 激光ZN18(He-Ne) |
外形尺寸 | 長*寬*高 350*400*720mm |
重量 | 100公斤 |