汽缸檢測系統(tǒng)應(yīng)用
μsurf系列用來測量汽車引擎缸體內(nèi)部(發(fā)動機氣缸內(nèi)壁)表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析(磨損分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于提高成形性，改善外觀以及涂漆性能，降低磨損，提高效率。
汽缸檢測系統(tǒng)產(chǎn)品特性：
（1）耐用可靠
（2）無損測量
（3）光學(xué)分辨率高
（4）速度快，數(shù)秒內(nèi)完成測量
（5）真實的3D數(shù)據(jù)
汽缸檢測系統(tǒng)產(chǎn)品功能：
（1）紋理分析（角度分析）
（2）粗糙度計算符合DIN EN ISO標(biāo)準(zhǔn)
（3）計算三維表面粗糙度參數(shù)
（4）磨損分析，缺陷檢測和體積參數(shù)
汽缸檢測系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間：5~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
計算機：高性能計算機控制系統(tǒng)，功能全面的軟件，有拼接功能，
工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
外型尺寸：高490mm，特殊轉(zhuǎn)接環(huán)直徑280mm
集成箱尺寸（包含主機，系統(tǒng)控制器，電子模塊等）：540*710*795mm
重量：11KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
| 物鏡倍數(shù) | 10X | 20X | 50X |
| 單次測量面積（um） | 1100*1100 | 550*550 | 220*220 |
| NA值 | 0.3 | 0.45/0.6 | 0.8 |
| 工作距離（mm） | 10.1 | 3.1/0.9 | 1 |
| Z軸精度（nm） | 20 | <10 | <2 |
| XY軸精度（um） | 1.9 | 0.95 | 0.38 |
汽缸檢測系統(tǒng)
μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。
