全新的*: 原位等離子清洗系統GV10X
GV10x 是由美國ibss Group公司與具有的等離子源共同合作開發并生產的新一代原位等離子技術清洗系統。GV10x可以在分子泵運行的真空狀態下工作，GV10x去除碳和碳氫污染的效率是傳統方法的10-20倍，且具有價格優勢。排除了SEM圖像的干擾和成像中的黑色掃描框，保持SEM成像的高分辨率和穩定性；排除聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳干擾。亮點:
功率：5 -99 W 連續可調等離子功率
工作環境：- 2 Torr to <5 mTorr (等離子源處真空度)
在較高的真空度下（大于50 毫托），清洗氣體的平均自由程很短，允許在靠近等離子源的區域去除污染。
在較低的真空度下（小于50 毫托），清洗氣體的平均自由程比較長，能均勻高效的清除碳污染。
整個清洗反應過程發生在分子泵運行的狀態下，無需關閉抽真空系統。
柔和：使用中性氧或氫的自由基通過非動力學過程灰化氣相碳氫化合物和表面碳。
Ibss group公司引進Gentle Asher 腔體拓展了GV10x的應用，用以清潔放入電子顯微鏡腔體前的樣品。連接了GV10x的Gentle Asher™腔體 GA/GV 可以極大地防止黑色掃描方框的生成。在將電鏡腔清潔到可接受的碳氫污染水平后，可以使用順流工藝，通過簡單地將GV10x源移動到Gentle Asher腔中，達到樣品清潔和儲存的目的。客戶的報告聲稱這種有效的結合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺和任何類型樣品的污染，同時保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳氫污染水平的易控制性。預清潔樣品和樣品臺避免了污染電鏡腔體，這樣就延長了電鏡清洗的周期。
