●帶0.1μm/0.4μm分辨力/重復精度的指示精度可達(1.1+0.6/600)um;
● 氣體全浮/半浮系統可以進行浮動高度調整;
●高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。
●配有基本的統計功能,另外,RS-232C數據輸出可通過連接計算機上的SPC軟件,進行外部測量數據評估(可選);
●為了達到精度,使用高精度反射性線性編碼器和高精度導軌;
●測量可以通過圖標命令來執行,同時,也支持一鍵操作,保證正面的垂直度為5μm,直線度為4μm;
● 數據備份恢復,測量工件程序可通過USB存儲設備來執行(FAT16/32兼容格式);
●使用TFT液晶顯示屏,以達到可視性和可操作性。