KosakaET4000探針式輪廓儀
ET4000具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測(cè)量FPD、晶片、磁盤(pán),和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。ET4000為滿(mǎn)足用戶(hù)不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置,通過(guò)選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
1.具有的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å(1σ)和線(xiàn)性度(垂直線(xiàn)性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm);
2.高分辨率,縱軸分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度;
3.超高直線(xiàn)度:0.005μm/5mm,可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等;
4.低測(cè)定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調(diào)節(jié),可測(cè)定軟質(zhì)材料;
5.即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng):配置標(biāo)準(zhǔn)CCD,可即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置;還可選購(gòu)TopViewCCD,進(jìn)行高精度定位量測(cè);
6.可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件,觀察樣品全貌和測(cè)定臺(tái)階移動(dòng)量;
7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭,經(jīng)久耐用;