用途：本系列產品采用氣浮和伺服控制技術，結合本公司自主研發的QMS3D自動測量軟件，可實現高效、準確的大批量工件測量，適用于精密零部件的檢測和質量控制。在機械、電子、五金、塑膠等行業中都得到了廣泛的應用。
特點：
行程大，測量范圍更廣
自主開發QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求
具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能
采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力
配置操縱手柄，亦可軟件程控
SPC數據處理分析，大批量治具測量
X、Y. Z三軸伺服控制,定位精度高速度快,運行平穩
采用自主開發的嵌入式模塊控制系統，將復雜的控制系統集成于儀器內部，穩定性更高.
程控恒流驅動式八區表面冷光光源，可適應復雜的工件測量
X、 Y向導軌采用高精度花崗石，具有高穩定性及剛性，不易變形
采用同步帶或絲桿傳動，精度高，穩定性好
花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損
可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜的工件測
技術規格參數：
型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H | VMS-6060H | VMS-6090H | |
工作臺 | 玻璃臺尺寸（mm） | 1208*885 | 1408*1085 | 1708*1285 | 640*770 | 640*1070 |
運動行程（mm） | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 | 600*600 | 600*900 | |
X、Y、Z軸數顯分辨力 | 0.5μm | |||||
示值誤差 | E1XY=(3.0+L/200) um | E1XY=(2.5+L/200) um | ||||
外型尺寸（長*寬*高）mm | 2170*2380*1560 | 2370*2580*1560 | 2570*2880*1560 | 1500*1300*1510 | 1800*1300*1510 | |
儀器重量（kg） | 3260 | 3750 | 4520 | 1281 | 1500 | |
Z軸升降行程 | 200 | 150 | ||||
影像系統 | 攝像機：彩色1/2CCD攝像機 | |||||
變倍鏡頭倍率：0.7X~4.5X 視頻總倍率：20X~128X（19.5顯示器，分辨率1440*900） | ||||||
物方視場：11.1mm~1.7mm | ||||||
電源：AC 220V 50/60Hz | ||||||
氣源壓力：≥0.5MPa | ||||||
空氣流量：120L/min（0.4MPa） | ||||||
溫度范圍：20土2℃ <1℃ =""><2℃ 4h ="" =""><1℃> | ||||||
溫度：55%~65% | ||||||
儀器配件 | 1X鏡筒（標配） | 0.5X鏡筒（選配） | 工作距離（mm） | ||
變倍鏡頭 | 0.7X~4.5X | 0.7X~4.5X | |||
附加鏡 | 視頻倍率 | 物方視場（mm） | 視頻倍率 | 物方視場（mm） | |
0.5X（選配） | 10X~64X | 22~3.4 | 5X~32X | 44~6.8 | 175 |
1X（標配） | 20X~128X | 11.1~17 | 10X~64X | 22~3.4 | 92 |
2X（選配） | 40X~256X | 5.5~0.9 | 20X~128X | 11.1~17 | 36 |
可選配：簡易測頭、同軸光鏡頭、激光移位器、白光納米檢測模組
