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吉時利4200A-SCS半導體參數分析儀

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陜西環動聯科電子科技有限公司立足西安,致力于為高等院校、科研機構、工業和行業客戶,提供包括儀器增值銷售、儀器租賃、系統集成及相關技術服務在內的"一站式"綜合服務。環動聯科與泰克Tektronix,吉時利Keithley,羅德與施瓦茨ROHDE&SCHWARZ,福祿克FLUKE,安立Anritsu,橫河YOKOGAWA,日置HIOKI,穩科WAYNEKERR,艾德克斯ITECH,前視紅外FLIR,飛礎科Fotric,是德科技keysight,普源精電Rigol,鼎陽Siglent,同惠電子Tonghui ,深圳知用Cybertek,固緯電子GWinstek,優利德UNI-TREND,四川拓普,寧楚智能等廠商的合作,提供通用測試產品有示波器、邏輯分析儀、誤碼率分析儀、函數/任意波形發生器,模擬/矢量射頻源、可編程交(直)流電源、多路數據采集儀、交直流電子負載儀、頻譜分析儀、網絡分析儀、電能質量分析儀以及數字萬用表、功率分析儀、紅外熱成像儀、耐壓絕緣電阻測試儀等等。為客戶提供專業、高效的產品應用解決方案、計量校準、維修維護。依托于專業化的團隊和服務品牌,在不斷優化服務質量、擴大市場輻射范圍的同時,堅持以戰略新興產業測試應用為主要發展方向,緊密結合高技術相關產業的科技進步和發展,不斷探索拓展測量領域技術和應用前沿,將硬科技領域作為未來的戰略發展重點。
測試儀器
使用吉時利4200A-SCS參數分析儀(參數測試儀)加快各類材料、半導體器件和*工藝的開發,完成制程控制、可靠性分析和故障分析
吉時利4200A-SCS半導體參數分析儀 產品信息
使用吉時利4200A-SCS參數分析儀(參數測試儀) 加快各類材料、半導體器件和*工藝的開發,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是業內性能電學特性半導體參數分析儀,提供同步電流電壓曲線測試(IV曲線測試)、電容電壓曲線測試(CV曲線測試)和超快脈沖IV曲線測量。

吉時利4200A-SCS半導體參數分析儀(圖1)

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程,快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配 置,不管是現在還是未來,都可以隨時對系統進行升級。通過4200A-SCS 參數分析儀,通往發現之路現在變得異常簡便。

主要性能指標


I-V 源測量單元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

100 fA測量分辨率

選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

100 μF負載電容

四象限操作

2 線或 4 線連接


C-V 多頻率電容單元(CVU)
AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)

選配 CVIV 多通道開關,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道

200 MSa/s,5 ns 采樣率

±40 V (80 V p-p),±800 mA

瞬態波形捕獲模式

任意波形發生器 Segment ARB® 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率


高壓脈沖發生器單元(PGU)
兩個高速脈沖電壓源通道

±40 V (80 V p-p),± 800 mA

任意波形發生器 Segment ARB®模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)

在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針

把 C-V測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)

在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換

把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安

降低電纜電容效應

典型應用

MOSFET, BJT 晶體管
材料特性分析
非易失性存儲設備
電阻率系數和霍爾效應測量
NBTI/PBTI
III-V 族器件
失效分析
納米器件
二極管和pn 聯結
太陽能電池
傳感器
MEMS 器件
電化學
LED 和OLED


吉時利4200A-SCS半導體參數分析儀(圖1)
吉時利4200A-SCS半導體參數分析儀(圖2)
標配附件
4200A-SCS
參數分析儀主機
1 條236-ILC-3 互鎖電纜, 3 米(10 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
4200-SMU
中等功率源測量單元, 適用于4200A-SCS, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2mV, 2 W
如果配置一個前端放大器:
4200-PA 標配所有電纜。參見下面的4200-PA。
如果沒有配置前端放大器:
2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
4201-SMU
中等功率源測量單元, 適用于4200A-SCS和高電容設置, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2 μV, 2 W, 10 μA負載電容
如果配置一個前端放大器:
所有電纜都帶有4200-PA,參見下面的4200-PA。
如果沒有配置前端放大器:
2根4200-MTRX-2迷你超低噪聲三同軸電纜, 2m (6.6英尺)
4210-SMU
高功率源測量單元,用于4200A-SCS,1 A ~ 100 fA,200 V ~ 0.2 μV,20 W
如果配置一個前端放大器:
4200-PA 標配所有電纜。參見下面的4200-PA。
如果沒有配置前端放大器:
2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
4211-SMU
高功率源測量單元, 適用于4200A-SCS和高電容設置, 1 A ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2 μV, 20 W, 10 μA負載電容
如果配置一個前端放大器:
所有電纜都帶有4200-PA,參見下面的4200-PA。
如果沒有配置前端放大器:
2根4200-MTRX-2迷你超低噪聲三同軸電纜, 2m (6.6英尺)
4200-PA
遠程前端放大器選項,用于4200-SMU 和4210-SMU,把SMU 擴展到0.1 fA 分辨率
1 條4200-RPC 遠程前端放大器電纜,2 米(6.6 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)
4210-CVU
電容- 電壓(C-V) 模塊4 根CA-447A SMA 電纜, 公頭到母頭, 100W, 1.5m (5 英尺) ? 4 個CS-1247 母頭SMA 到公頭BNC 適配器
2 個CS-701 BNC T 型適配器? 1 個TL-24 SMA 扭矩扳手
4215-CVU
高分辨率電容-電壓(C-V)模塊4根CA-447A SMA電纜, 公頭到公頭, 100 Ω, 1.5m (5英尺) ? 4個CS-1247母頭SMA到公頭BNC轉接頭
2個CS-701 BNC偏置T轉接頭
4225-PMU
超快速脈沖測量單元4 根SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
2 個SMA 到SSMC Y 電纜組件, 6 英寸
4225-RPM
遠程前端放大器/ 開關模塊1 條SMA 到SMA 50W 電纜, 20cm (7.9 英寸)
1 個三同軸到BNC 適配器
1 個BNC 到SMA 適配器
1 條RPM 電纜, 2.1m (6.9 英尺)
4220-PGU
高電壓脈沖發生器(4) SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
(2) SMA 到SSMC Y- 電纜組件, 6 英寸
4200A-CVIV
I-V,C-V 多功能開關模塊2 條4200A-CVIV-SPT SMU 直傳模塊
2 條214543500 插槽封堵模塊
1 條174691500 USB 電纜
注:對通過4200A-CVIV 連接的每個SMU,都要求一個或4200A-CVIV-SPT 或一個4200-PA。
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