產品特點
一次測量,實現高精度輪廓分析及粗糙度分析
·一次測量,實現粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量
·X向采用新型數字式傳感器,精度更高,Z1采用自主研發高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有超大量程,zui大限度保持了傳感器的原有精度。
采用高剛性高精度免維護直線運動導軌,精密控制系統。
采用高速并行數據采集單元,硬件觸發、硬件高速采樣,無延時;足夠密集及穩定的數據源為后期數據處理、計算提供zui有力的保障。
Vitarl 7 系列具有傳統的粗糙度輪廓儀的優勢
測量功能
輪廓測量:各種類型工件表面的線要素,點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
測量案例圖
基礎參數
規格號 | 參數 |
測量范圍 | X軸 0-220mm可選 |
Z軸 0-620mm可選 | |
Z1軸 6mm,2mm | |
輪廓傳感器線性精度 | ≤±0.07%f.s.(95mm測桿) |
粗糙度傳感器線性精度 | ≤±(12nm + 3%) |
主要技術參數
項目 | 規格 | |
驅動器 | 行程 | 100~220mm |
采數間隔 | 0.05~2μm | |
輪廓直線度 | ≤0.3~0.5μm/100mm | |
粗糙度殘值 | ≤0.005~0.025μm | |
Z1軸傳感器 | 標準測桿量程 | ±2mm; ±100μm; |
分辨率 | 0.015μm(±2mm);0.8nm(±100μm) | |
輪廓線性精度 | ≤ ±0.07% F.s. | |
粗糙度線性精度 | ≤±(12nm + 3%) | |
粗糙度重復性 | 1δ≤3nm | |
Z軸⽴柱 | ⾏程 | 320~620mm |
平臺(含防振臺架) | 尺⼨ | 500mm* 800mm;500mm*1000mm; |