技術參數
型號 | KYUI575 | KYUI7107 | KYUI9128 | KYUI9185 | KYUI9208 | |
規 格 | X(mm) | 500 | 700 | 900 | 900 | 900 |
Y(mm) | 700 | 1000 | 1200 | 1800 | 2000 | |
Z(mm) | 500 | 700 | 800 | 500 | 800 | |
溫度范圍 | 18——22℃ | |||||
測量精度 | 0.9um起 |