一、技術(shù)特點
CV-3200系列是在Z1軸（檢出器）上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡，以實現(xiàn)高精度和高分辨力。與傳統(tǒng)型號相比，新測臂使Z1軸測量范圍增大了10mm同時減少了工件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件，單此接觸就能完成測臂的裝卸，提高了易用性。
二、測量項目
各種類型工件表面的線要素、點要素，點與點的距離、線與線的距離，各要素的位置度包括：距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析，凸度分析等。
三、技術(shù)參數(shù)及配置
| 項目 | CV-3200S4 | |
| X軸（橫臂） | 測量范圍 | 100mm |
| 直線度 | 0.8μm/100mm,2μm/200mm 當(dāng)X軸在水平方向上 | |
| 測量速度 | 0.02-5mm/s | |
| 驅(qū)動速度 | 80mm/s | |
| 光柵分辨率 | 0.05µm | |
| 指示精度 | ±(1+0.01L)μm L:為驅(qū)動長度(mm) | |
| 測量方向 | 向前/向后 | |
| 傾斜范圍 | ±45° | |
| 測量方法 | 反射式光學(xué)尺 | |
| Z1軸（檢測器） | 測量范圍 | ±25mm |
| 分辨率 | 0.2µm | |
| 測量方法 | 光學(xué)尺 | |
| 指示精度 | ±（1.6+|7H|/12) µm±(2+4H/100)μm H:為水平位置上的測量高度 | |
| 指測針上/下運動 | 弧形運動 | |
| 測針方向 | 向上/向下 | |
| 測針抬起方式 | 自動或手動 | |
| 測力 | 30mN | |
| 爬坡角度 | 上升77°下降83° | |
| 標(biāo)配測針 | 測針類型 | 硬質(zhì)合金針尖 |
| 測針半徑 | 25 µm | |
| Z2軸（立柱） | 測量高度 | 300mm |
| 分辨率 | 1 µm | |
| 測量方法 | ABSOLUTE光學(xué)尺 | |
| 運動速度 | 0-20mm/s | |
| 儀器平臺及工裝夾具 | 花崗巖基座 | 600X450 |
| X、Y軸移動平臺 | 130*100mm | |
| 重量 | 主機 | 140kg |
| 控制箱 | 14kg | |
| 搖控箱 | 0.9kg | |
| 環(huán)境要求 | 氣壓 | 0.4MPa |
| 耗氣量 | 30L/min | |
| 電源 | 100-240VAC ±10%, 50/60Hz | |
| 環(huán)境 | 溫度：10～30℃；相對濕度：＜85% | |
