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桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro提供了一種高性能,小巧,實(shí)惠的磁控濺射系統(tǒng)節(jié)省空間Desktop Pro只需要不到36英寸的空間(0.9m)節(jié)省費(fèi)用一個(gè)電源可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)靶槍均勻性好傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個(gè)工件盤上達(dá)到5%的鍍膜均勻性抽真空速度快抽速65lps的渦輪分子泵,保證系統(tǒng)優(yōu)秀的抽真空性能和對反應(yīng)氣體的負(fù)載能力Desktop Pro產(chǎn)品彩頁下載 強(qiáng)大的控制系統(tǒng)基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式:維修模式,手動(dòng)操作模式和半自動(dòng)操作模式互鎖保護(hù)避免不適當(dāng)操作對人員和設(shè)備的損害 典型應(yīng)用磁控濺射磁控濺射材料研究產(chǎn)品質(zhì)量控制和分析半導(dǎo)體失效分析納米技術(shù)復(fù)合半導(dǎo)體 可選項(xiàng)磁控濺射液氮冷阱共濺射射頻/直流濺射電源多靶槍質(zhì)量流量控制器,精確控制氣體流量泵選項(xiàng)無油機(jī)械泵
桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro提供了一種高性能,小巧,實(shí)惠的磁控濺射系統(tǒng)
節(jié)省空間Desktop Pro只需要不到36英寸的空間(0.9m)
節(jié)省費(fèi)用一個(gè)電源可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)靶槍
均勻性好傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個(gè)工件盤上達(dá)到5%的鍍膜均勻性
抽真空速度快抽速65lps的渦輪分子泵,保證系統(tǒng)優(yōu)秀的抽真空性能和對反應(yīng)氣體的負(fù)載能力
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強(qiáng)大的控制系統(tǒng)基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式:維修模式,手動(dòng)操作模式和半自動(dòng)操作模式
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