參數：

· 運 動 維 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ
· X、Y 行程：±8mm、±8mm
· Z 行程: ±9mm
· α、β行程：±3°
· Ψ 行程：±5°
· 推進設備分辨率：1μm
· X、Y 運動精度：5μm
· Z運動精度：3μm
· X、Y 重復運動精度：2μm
· Z 重復運動精度：2μm
· α、β運動精度：0.069mrad
· X、Y 移動速度：1mm/s
· Z移動速度：2mm/s
· 負載（水平）：100kg
· 質量：10.5kg
· 尺寸（直徑*高度）：390mm*310mm