六自由度并聯(lián)平臺參數(shù)
運 動 維 度 :X、Y、Z、α、β、Ψ
X、Y 行程 :±8mm、±8mm
Z 行程 :±9mm
α、β行程 :±3°
Ψ 行程 :±5°
推進設(shè)備分辨率:1μm
X、Y運動精度:5μm
Z運動精度:3μm
X、Y重復(fù)運動精度:3μm
Z重復(fù)運動精度:2μm
α、β運動精度:0.069mrad
X、Y移動速度:1mm/s
Z移動速度:2mm/s
負(fù)載(水平):100Kg
斷電保持力:20Kg
質(zhì)量:10.5Kg
尺寸(直徑*高度):390*310mm
特點
· 超高真空實驗環(huán)境
· 樣品變溫測試環(huán)境(300K~1000K)
· XAFS實驗(TEY全電子產(chǎn)額模式和PFY熒光產(chǎn)額模式可同時進行)
· GIXRD掠入射衍射實驗
· 超高真空條件下樣品傳遞