多層KB鏡
基板尺寸:500×100mm2
W / C多層膜涂層
用于K-B鏡像系統(tǒng)的多層反射鏡
反射率的評(píng)價(jià)例(波長(zhǎng):0.154nm,藍(lán)色:測(cè)定值,粉紅色:計(jì)算值,周期長(zhǎng)度2.95nm)
平面鏡
· 基板尺寸:140×10mm2
· Pt單層膜涂層
圓柱鏡
· 圓柱面部件尺寸:100×10mm2· 曲率半徑4毫米
· Ru單層膜涂層
橢圓鏡
· 基板尺寸:110×80mm2
三色鏡
三色全反射鏡:
多層偏振器(Multilayer polarizer)
基板尺寸:20×20mm2
反射率實(shí)測(cè)值(入射角45°)
反射率的評(píng)價(jià)例(波長(zhǎng)0.154nm,藍(lán)色:測(cè)定值,紅色:計(jì)算值,循環(huán)長(zhǎng)度0.93nm)