工業廢氣處理設備是使用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。使用高能高臭氧UV紫外線光束分化空氣中的氧分子發生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而發生臭氧。
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對有機物具有氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有的清除效果。工業廢氣處理使用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分化氧化反響，使工業廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再經過排風管道排出室外。
使用高能UV光束裂解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再經過臭氧進行氧化反響，*到達凈化及殺滅細菌的意圖．從凈化空氣功率考慮，咱們挑選了-C波段紫外線和臭氧發結合電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其間-C波段紫外線用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體的分化和裂變，是有機物變為無機化合物。
