應(yīng)用
精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性,還實現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸:20nm/SPAM
工作主軸:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過“單點異步誤差運動”方法測量
考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器,可實現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面,多孔限流器大大減少了空氣消耗,本公司根據(jù)慣例實現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量,因此,有利于節(jié)能減排。
高精度滾針V-V導(dǎo)軌
高可重復(fù)性,高加工效率
超低摩擦力導(dǎo)軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥,對納米范圍進給速率響應(yīng)度高,消除了逆向進給的延遲。該導(dǎo)軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導(dǎo)軌,但精度能保持相似。
考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒有靜態(tài)導(dǎo)軌常見的流體溫度波動,確保了穩(wěn)定的精度,同時無需使用液壓裝置之類的設(shè)備,即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
軸驅(qū)動技術(shù)
優(yōu)化的設(shè)計
在考慮性價比的前提下,針對每種機器類型和軸優(yōu)化設(shè)計了滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng)和線性馬達驅(qū)動系統(tǒng)。
考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng),我們開發(fā)并利用*的耦合器,解決了滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)所造成的常見應(yīng)力和振蕩問題。
車床
車削和研磨機床
自由形狀表面車削和研磨機床