本特利 3500/92 136180-01
本特利 3500/92 136180-01
1．真空度（壓力）控制概述
在許多真空系統中，為了實施特定的工藝過程或達到一定的實驗條件，需要真空系統中的真空度恒定在特定以及關鍵的設定值，這就需要對真空系統內的真空度進行控制。真空度控制一般通過上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和兩種模式結合的方法實現。業內一般將上游模式定義為控制輸入真空系統的氣體，下游模式定義為控制泵送系統的節流，即以真空系統為參照物，真空系統上游的進氣控制為上游模式，真空系統下游的出氣控制為下游模式。
無論是自動的上游控制還是下游控制，都需要電動控制閥來實現。在目前國內外真空系統的真空度控制過程中，由于技術的限制，絕大多數還都是采用單一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但隨著雙向控制技術的突破，可以實現上下游模式的同時控制。
本文詳細介紹了真空系統中上下游真空度控制模式的特點以及在應用中存在的問題，介紹了雙向控制技術的特點。
1．真空度（壓力）控制概述
在許多真空系統中，為了實施特定的工藝過程或達到一定的實驗條件，需要真空系統中的真空度恒定在特定以及關鍵的設定值，這就需要對真空系統內的真空度進行控制。真空度控制一般通過上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和兩種模式結合的方法實現。業內一般將上游模式定義為控制輸入真空系統的氣體，下游模式定義為控制泵送系統的節流，即以真空系統為參照物，真空系統上游的進氣控制為上游模式，真空系統下游的出氣控制為下游模式。
無論是自動的上游控制還是下游控制，都需要電動控制閥來實現。在目前國內外真空系統的真空度控制過程中，由于技術的限制，絕大多數還都是采用單一控制方式，即或是上游模式，或是下游模式。但隨著雙向控制技術的突破，可以實現上下游模式的同時控制。
本文詳細介紹了真空系統中上下游真空度控制模式的特點以及在應用中存在的問題，介紹了雙向控制技術的特點。
優勢產品：
l Invensys Foxboro（福克斯波羅）：I/A Series系統，FBM（現場輸入/輸出模塊）順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數模轉換、輸入/輸出信號處理、數據通信及處理等。
l Invensys Triconex: 冗余容錯控制系統、基于三重模件冗余（TMR）結構的現代化的容錯控制器。
l Westinghouse（西屋）： OVATION系統、WDPF系統、WEStation系統備件。
l Schneider Modicon（施耐德*康）：Quantum 140系列處理器、控制卡、電源模塊等。
l ABB：工業機器人備件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
l Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens數控系統等。
l Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
l XYCOM：I/O 、VME板和處理器等。
l GE FANUC(GE發那科)：模塊、卡件、驅動器等各類備件。
l Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服馬達、伺服驅動器。
l Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅動模塊等。
l Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數字控制器。
