美國西特高精度真空計 美國西特高精度真空計
Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。 測 量 單 位 可 以 是 Torr, mbar/hpa, kpa 或psia。 Model 760 的工作電壓是 15VDC,輸出 0~10VDC或0~5VDC,輸出與壓力成線性關系,而且與氣體成分無關。
電氣連接件可以是工業標準 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過濾等技術, Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能。
Model 760 有一個完整的滑面,很容易提供有精確的零點調節和量程調節的多匝電位計。Inconel® 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體,另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。
Model 760 中高精度的壓力傳感元件 VactronTM pressuresensor,是在 Setra 磚利技術可變電容傳感技術基礎上發展來的。在敏感元件*有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被 Setra*的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號,該集成電路是根據西特磚利技術負荷平衡原理設計的。
Model 760 采用革新的傳感設計獲得了出色的零點穩定性和大氣壓非敏感性。 Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。適用于與 Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體壓力范圍: 0~10 Torr 至 0~1000Torr,
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia,
0~2 kpa 至 0~100kpa
注: Setra 堅持嚴格的質量標準 ANSI-Z540-1。此產品的
標定源于 NIST
特性
· 高精度:標準 ±0.25% of Reading ,可選 ±0.15%
· 小巧緊湊的結構
· 多種壓力連接和電氣連接方式
· 符合 CE 標準
出眾的 EMI/RFI 性能
耐腐蝕的 Inconel ® 設計
出色的熱穩定性
壓力范圍: 0~10 Torr 至 0~1000Torr,
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia,
0~2 kpa 至 0~100kpa
注: Setra 堅持嚴格的質量標準 ANSI-Z540-1。此產品的
標定源于 NIST。
電壓輸出MODEL760美國西特SETRA 絕隊壓力變變送器
電路4線
激勵±15VDC,調整范圍±5%
輸出0-10VDC或0-5VDC
功耗<0.5W(<15mA)
分辨率 無限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
耐壓 45 psia
時間常數 <20ms
環境參數
工作溫度0~+50℃
存儲溫度-50~+125℃
溫度影響
補償范圍0~+50℃(+32~+122℉)
零點漂移±0.005%FS/℃
量程漂移±0.027%RDG/℃
MODEL760的物理參數
殼體鋁合金
電氣連接15針D型插座或6位螺紋接線端子
壓力連接見訂購信息
壓力介質與InconelRRRRR或Inconel/不銹鋼相容的氣體.Inconel濕部件僅配0.5管的接頭,選擇其它的接頭增加不銹鋼.
重量(約)260克(約9盎司)
零點/滿程調節多匝電位計(在滑面底部)
腔體體積<6立方厘米
性能參數
精度A±0.25%ofReading
精度B±0.15%ofReading
耐壓45psia
分辨率無限,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
時間常數<20ms
應用
· 半導體過程工具和設備
· 實驗室和研究開發
· 實驗和測量
· 度量
· 分析化學系統