阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產、重新凈化潔凈室等。

隨著IC產品生產成本的增加，空氣分子污染物AMC的監測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-µVOC  系統意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產生污染問題和減少污染問題之間的關聯，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監測和快速確定這些污染問題的原因。

在線連續質量監測全部自動化系統

低濃度VOC監測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能

在新風空調箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產機臺上方SWIF下方安裝化學過濾器，實際生產過程中過濾器的維護和更換，如果太早或者太遲都會引起產品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產事故，停產。

帶有16通道的 阿瑞斯-µVOC  系統可以監測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當進來的氣體不符合過濾標準時采樣點位于進風系統上游；當吸收能力耗盡時采樣點位于下游。

阿瑞斯-µVOC 系統專為連續監測、無人值守操作設計，是專業的過程分析工具，16通道采樣點可以通過設置自動進樣進行分析，每個通道都有報警設置功能，移動式使用功能使阿瑞斯-µVOC 系統成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。

板載標定功能，匹配嚴格的質量控制規則。

實時顯示測量結果，無計算運行。

標配，給提供客戶遠程聯網技術服務.