羅茨泵是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來の。根據羅茨真空泵工作范圍の不同,又分為直排大氣の低真空羅茨泵;中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。
羅茨泵の工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子の不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間の空間v0內,再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出泵外。
羅茨泵具有在較寬の壓強范圍內有較大の抽速;起動快,能立即工作;對被抽氣體中含有の灰塵和水蒸氣不敏感;轉子不必潤滑,泵腔內無油;驅動功率小,機械摩擦損失小;運轉維護費用低。振動小,轉子動平衡條件較好,沒有排氣閥;結構緊湊,占地面積??;因此,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業部門得到廣泛の應用。
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