zui重要的特性:
u 通過高水平的SEM和EDX硬件集成實現(xiàn)了快速、*自動化的數(shù)據(jù)采集;
u 基于VEGA SEM平臺;
u 新設計的樣品臺集成了BSE/EDX校正標準和法拉第杯;
u 根據(jù)客戶的需求更改樣品的尺寸;
u zui多集成4個EDX探測器確保系統(tǒng)的性能zui高;
u 新的Peltier冷卻型EDX探測器確保熱穩(wěn)定性;
u 改進的方法使數(shù)據(jù)分析既快又可靠;
u 根據(jù)樣品的每個部分可調(diào)整掃描和EDX分析的時間;
u 離線數(shù)據(jù)處理;
u 各種各樣的數(shù)據(jù)分析模塊;
u 可自定義的分類規(guī)則;
u 可定制的解決方案。
技術(shù)參數(shù):
1.分辨率:高真空(二次電子)1.2nm at 30kv,
(背散射電子):2 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍數(shù):2 ~ 1000000倍;
3.真空系統(tǒng): 低真空7~500Pa
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流2pA~200nA
6.樣品室內(nèi)部直徑:230mm(寬)
7.樣品臺行程:
全計算機控制優(yōu)中心樣品臺
X=79mm----馬達控制
Y=29mm----馬達控制
Z=29mm----馬達控制