DSAI155 DSAI155
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廈門岳航計算機工程有限公司
:張美鳳
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南極科考、深海調查、月球勘探都用機器人,混合智能機器人深度結合生物感認知能力與機器計算能力
盡管電影《人工智能》中展現的具有人類智慧和感情的機器人還只存在于遙遠的想象空間,但機器人一直是人類拓展自身能力的方向。世界發達國家都高度重視機器人研發。美國的研究實力zui強,高水平團隊和成果zui多。日本在仿人機器人和家用機器人方面具有*優勢,已在許多場合實現應用。
陳小平說,由于歷史原因,我國機器人研究起步較晚,基礎薄弱,但追趕速度令世界矚目。10多年來,我國對服務機器人(又稱特種機器人)研發投入較大,在水下機器人等領域取得了許多突破性進展。近年來,個人服務機器人領域的新突破,為我國發展中檔家用服務機器人創造了條件。
熊蓉認為,中國已經成功研制了用于南極科考、深海調查的機器人,像成功登月的月球車其實也是一種機器人。中國在工業機器人、醫療機器人、仿生機器人等方面開展了深入的研究,取得了一定成果。目前由于制造業發展需求,我國偏重工業機器人的發展,同時也會在智能機器人研發上加大力度。智能機器人應該具備像人一樣的信息處理模式,能夠感知信息、智能推理,同時也具有人的靈活性,其活動能力更強。
“服務機器人的工作環境比工業機器人復雜得多,任務也復雜得多,所以智能化成為服務機器人zui重要的要素之一。特別是個人服務機器人,不僅要能適應復雜多變的非結構化環境,而且要能理解用戶的意圖、為用戶提供貼身服務乃至個性化服務,因而對智能的要求大大提升。”陳小平說。
科學家還在開拓其它的智能機器人研制途徑,比如混合智能機器人。在浙江大學,通過腦機接口技術,科研人員在大白鼠頭上裝了一個腦機接口部件,直接跟大白鼠大腦連接進行腦機通訊;一個針孔式攝像頭,充當大白鼠的另一只眼睛。大白鼠“看”到的景象,會通過無線信號傳給計算機;計算機會通過人工智能中的機器視覺技術,自動分析與識別圖像中的物體,并根據大白鼠的當前狀態,制定下一步運動策略,再經由無線信號傳輸給大白鼠。如此,本身視覺很弱也不懂“看圖”的大白鼠,就能夠像人一樣“看懂”指示牌,并找到相應的目標物體。
浙江大學計算機學院教授潘綱介紹,這一機器智能與生物自身智能融合的模式,被稱為“混合智能”,成為人工智能一個新的發展方向。而將生物自身的感認知能力與機器的計算能力深度結合,有望產生超越現有系統的更強智能形態,從而為神經康復和動物機器人提供新研究思路。
“機器人研發中,將生物體和機器混合,生物體將變得更強大,也彌補了機器的不足。比如動物機器人,對外部能源供給的需求通常很少。”潘綱說。時下風靡的許多機器人科幻電影,諸如《*》《鋼鐵俠》等都不乏類似的想象,將人和機器結合起來。
新技術帶來研發新機遇——
人工智能發展將提升機器人智能交互水平,機器人技術也不是相關技術的簡單堆積
機器人技術是綜合*技術的匯集,十分復雜。“人工智能是軟件部分,機器人本體則體現硬件水平。”潘綱說。就混合智能機器人研究領域的“腦—機”科學而言,需要神經科學、信息工程技術和醫學等多個學科的交叉合作。
不過,新研究的突破,有可能給機器人研究帶來新的思路,甚至改變一些原有的想法。近年興起的大數據、云計算和深度學習等新技術,*地推動了人工智能的發展,也為機器人的研發創造了新條件和新機遇。
“如何利用新機遇更好地發展機器人,是一個新課題。”陳小平認為,機器人是一個交叉性非常強的學科,鄰近學科的新發展將或多或少地影響機器人的研發。例如,利用深度學習技術可以提高圖像識別的性能,而圖像識別與機器人的物體識別、人臉識別等有密不可分的關系。另一方面,機器人不是相關技術的簡單堆積,鄰近學科的成果往往不能簡單地集成到機器人上。
對側重人工智能研究的科學家而言,智能機器人就是人工智能的一個載體,但這個載體到底是什么,或許并不重要。*自動化研究所研究員張文生認為,智能機器人的定位還是比較窄。
潘綱在幾年前就做過類似微軟小冰的微博聊天機器人,這是一種虛擬的機器人,但也具有人工智能的特點:通過機器學習,像微軟小冰這樣的聊天機器人能夠展現出較強的智能。而腦,以及蘋果手機上的語音助手“希瑞”,都可以看成是這種虛擬的智能機器人。未來人們也許可以隨身攜帶個性定制的“人工智能”,裝到隨處可見的“載體”上即可,比如智能手機、家用電器、汽車,甚至連枕頭都可以成為智能的載體。
熊蓉認為,計算設備將變得更加智能化、小型化;加上網絡通信的發展,機器人可以更多地利用云計算技術,對本身設備的要求就會降低。機器人的形式會越來越多樣化。人工智能的發展也將提高機器人的智能交互水平,能夠和人更自然地對話,根據人臉的不同表情理解不同的含義。與此同時,機器人抽象認知的水平會更高,比如對“去廚房倒杯水”這樣的指令,它不會走錯到客廳,而且能在不同的房子里“辨認”出什么樣的房間才是廚房。
“可以想象,未來機器人一定會具有非常高的智能水平,可以在很多方面超過人類。但機器人智能發展的總體趨勢是與人類愈加接近、親近,而不是對抗。”陳小平說。
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盡管電影《人工智能》中展現的具有人類智慧和感情的機器人還只存在于遙遠的想象空間,但機器人一直是人類拓展自身能力的方向。世界發達國家都高度重視機器人研發。美國的研究實力zui強,高水平團隊和成果zui多。日本在仿人機器人和家用機器人方面具有*優勢,已在許多場合實現應用。
陳小平說,由于歷史原因,我國機器人研究起步較晚,基礎薄弱,但追趕速度令世界矚目。10多年來,我國對服務機器人(又稱特種機器人)研發投入較大,在水下機器人等領域取得了許多突破性進展。近年來,個人服務機器人領域的新突破,為我國發展中檔家用服務機器人創造了條件。
熊蓉認為,中國已經成功研制了用于南極科考、深海調查的機器人,像成功登月的月球車其實也是一種機器人。中國在工業機器人、醫療機器人、仿生機器人等方面開展了深入的研究,取得了一定成果。目前由于制造業發展需求,我國偏重工業機器人的發展,同時也會在智能機器人研發上加大力度。智能機器人應該具備像人一樣的信息處理模式,能夠感知信息、智能推理,同時也具有人的靈活性,其活動能力更強。
“服務機器人的工作環境比工業機器人復雜得多,任務也復雜得多,所以智能化成為服務機器人zui重要的要素之一。特別是個人服務機器人,不僅要能適應復雜多變的非結構化環境,而且要能理解用戶的意圖、為用戶提供貼身服務乃至個性化服務,因而對智能的要求大大提升。”陳小平說。
科學家還在開拓其它的智能機器人研制途徑,比如混合智能機器人。在浙江大學,通過腦機接口技術,科研人員在大白鼠頭上裝了一個腦機接口部件,直接跟大白鼠大腦連接進行腦機通訊;一個針孔式攝像頭,充當大白鼠的另一只眼睛。大白鼠“看”到的景象,會通過無線信號傳給計算機;計算機會通過人工智能中的機器視覺技術,自動分析與識別圖像中的物體,并根據大白鼠的當前狀態,制定下一步運動策略,再經由無線信號傳輸給大白鼠。如此,本身視覺很弱也不懂“看圖”的大白鼠,就能夠像人一樣“看懂”指示牌,并找到相應的目標物體。
浙江大學計算機學院教授潘綱介紹,這一機器智能與生物自身智能融合的模式,被稱為“混合智能”,成為人工智能一個新的發展方向。而將生物自身的感認知能力與機器的計算能力深度結合,有望產生超越現有系統的更強智能形態,從而為神經康復和動物機器人提供新研究思路。
“機器人研發中,將生物體和機器混合,生物體將變得更強大,也彌補了機器的不足。比如動物機器人,對外部能源供給的需求通常很少。”潘綱說。時下風靡的許多機器人科幻電影,諸如《*》《鋼鐵俠》等都不乏類似的想象,將人和機器結合起來。
新技術帶來研發新機遇——
人工智能發展將提升機器人智能交互水平,機器人技術也不是相關技術的簡單堆積
機器人技術是綜合*技術的匯集,十分復雜。“人工智能是軟件部分,機器人本體則體現硬件水平。”潘綱說。就混合智能機器人研究領域的“腦—機”科學而言,需要神經科學、信息工程技術和醫學等多個學科的交叉合作。
不過,新研究的突破,有可能給機器人研究帶來新的思路,甚至改變一些原有的想法。近年興起的大數據、云計算和深度學習等新技術,*地推動了人工智能的發展,也為機器人的研發創造了新條件和新機遇。
“如何利用新機遇更好地發展機器人,是一個新課題。”陳小平認為,機器人是一個交叉性非常強的學科,鄰近學科的新發展將或多或少地影響機器人的研發。例如,利用深度學習技術可以提高圖像識別的性能,而圖像識別與機器人的物體識別、人臉識別等有密不可分的關系。另一方面,機器人不是相關技術的簡單堆積,鄰近學科的成果往往不能簡單地集成到機器人上。
對側重人工智能研究的科學家而言,智能機器人就是人工智能的一個載體,但這個載體到底是什么,或許并不重要。*自動化研究所研究員張文生認為,智能機器人的定位還是比較窄。
潘綱在幾年前就做過類似微軟小冰的微博聊天機器人,這是一種虛擬的機器人,但也具有人工智能的特點:通過機器學習,像微軟小冰這樣的聊天機器人能夠展現出較強的智能。大腦,以及蘋果手機上的語音助手“希瑞”,都可以看成是這種虛擬的智能機器人。未來人們也許可以隨身攜帶個性定制的“人工智能”,裝到隨處可見的“載體”上即可,比如智能手機、家用電器、汽車,甚至連枕頭都可以成為智能的載體。
熊蓉認為,計算設備將變得更加智能化、小型化;加上網絡通信的發展,機器人可以更多地利用云計算技術,對本身設備的要求就會降低。機器人的形式會越來越多樣化。人工智能的發展也將提高機器人的智能交互水平,能夠和人更自然地對話,根據人臉的不同表情理解不同的含義。與此同時,機器人抽象認知的水平會更高,比如對“去廚房倒杯水”這樣的指令,它不會走錯到客廳,而且能在不同的房子里“辨認”出什么樣的房間才是廚房。
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4 NEW AMAT 3690-01627 SCR CAP SKT HD 10-24 x 1L HEX SKT SST
8 NEW AMAT 3690-01879 SCR CAP SKT HD 10-24 x 3/4L HEX SKT SST SLVR-PLT
8 NEW AMAT 3690-01879 SCR CAP SKT HD 10-24 x 3/4L HEX SKT SST SLVR-PLT
2 NEW Parker TRIPLELOK-SS, MALE Fitting,
Two AMAT 3300-01348 Flange KF Blank Off NW50
4 NEW AMAT 0720-01843 CONN RTNG CLIP and 4-40 SCREW
2 Way Data Switch Box Network Connectors
FLG, KF, Blank-Off NW50.304 100311706
Cover Map DEV Front 4A-3-12, 233324431, Lot of 2
RF Coax to low freq adapter, UG2557U
4 18800045 SRV/S06D06 Schalter Micro- mit Rolle V5-C010-BB-1E
Novellus Systems 15-130760-00 Screw, Lot of 5
16 NEW AMAT 0690-01005 CLAMP HOSE 5/16 X 7/8 DIA SST
NIPPON PILLAR SUPER 300 PFASET-W4-10284
AMAT 3690-04108 8 new Shoulder Screw, 5/16-18 x 3.5OD x 1/2L x 7/16L-Thd
New NW16 wing nut clamp
For P-Tank Rupture Disc, Plastic and Teflon, Lot of 14
AMP BNC59PCS 50-OHM Commercial BNC Plug Lot of 3
5 NEW 242 EPDM 0 -Ring
AMAT 3300-03452 FTG TBG RDCR 1/2T X 1T SWAGELOK 2
Connector 1/4 TBX 1/8 MNP, Male
AMAT 3880-01644 Washer Sealing 5/16 .301ID, Lot of 5
Sensor, Hall-Effect 233315405, SO# 528397, Lot of 3
Cutler Hammer E22B1 CenterBlock 1270-01698
AMAT 70125-0088 CURVED SPRING WASHER STL
HP A6685A HP-HSC Fibre channel, 1 Gbps, A6685-6200 Assembly PCB board
AMAT 0020-09617 BUSHING, REAR
Chemrez 513, 9108-SC513 0.237 x .0103 inch Oring 2-108
O'ring Seamless Viton AS568A No271
SEIMENS KPY53A Silicon Piezoresistive Absolute Pressure Sensor
Moeller DIL ER-40-G DIN rail mount motor contactor 40E, 24VDC, 3 ph
General Electric TED113015 Circuit Breaker, 15A, 277 VAC, 125 VDC looks new
NEW AMAT 3700-01622 Oring ID .612 CSD .103 VITON 75DURO BLK
5 GMP Seal Forces Tester Lamps 6 Volts C-143-JA-902
Copartner 25" RF Cable 1394b E1119932-U
2 NEW AMAT 3300-02121 cap screw
5 AMAT 3300-03362 Cap Swagelok, SST
10 NEW AMAT 3880-01379 Teflon washers, PTFE washer
Belt Gate 97004-35, New
NEW, PARKER QUICK DISCONNECT CPI 6HB-Q6VY-SSS
NEW Fluorosilicone 2-030, AS568-030, Blue, 70, 22-373614-00, REV A
New Swagelok PFA fitting. PFA4-12-FTF-R-1?2x-3 3/4 flare x 3/4 RF
AMAT 3320-02242 GSKT 1.33 CFF OFHC Copper
AMAT 3690-02034 SCRMach PAN HD 6-32 x 3/16L Slot Nylon
AMAT 3870-01385 Valve Blank Plate Assy for SMC VV5Z3 Series
Novellus 15-00371-00 Knot
Lot of 3 BNC male to Low Frequency Fe Union
RF Bulkhead Connector AMP 34475
Lot of 2 Viton Oring 10.6" long ORG-22484-B50
Used RF male to Low Freq. FE Coax Connector 15
Harting HAN 10B-GG-R-21, New Power connector housing
5 Tyco Electronics amp 206705-2 9-way RCPT connectivity
90 degree VCR Gas fitting with swagelok connector
office connect Network Utilization HM816710
Swagelok SS Hose Connection SS-PB6-PM6
3 NEW AMAT 3690-02032 SCR PANEL MTG 10-32 x 1/2L PHH W/WSHR-NYL
4 NEW AMAT 3880-01007 Washer Flat #8 .3750D x .174ID x .031THK SST
4 NEW AMAT 3690-01956 SCRCAP SKT HD 10-24 x 7/8L HEX SKT SST SLVR-PLT
4 NEW AMAT 3700-01607 Oring ID .862 CSD .103 VITON 75DURO
4 NEW AMAT 3880-01045 Washer Flat # 1/4 .500OD x .265ID x .063THK SST
AMAT 0140-78528 Cable Ground Wire LOTO BCX-MIRRA
Pan Pacific S-25M9F-6 AT Serial Adapter Cable DB9 to DB25
2 Parallel Connector Cables, 70 inch, and 24 inch
3 BNC female to RF UUG349A/U male union
1 set of 4 2.5" Double Claw ISO Clamps
RF Coax Tee 2m-1Fe
RF Low Frequency Tee Amp M358 2m-1Fe
Belt, Timing, 3mm, 233279064
AMAT 3780-0001-021 Spring Extension, Wire, X6, LG, SST
AMAT 3700-01543 NW-25 CENTERING RING WITH BROWN ORING
Sylvania Sunray 387 Minature Bulb
Sylvania Sunray 56X Minature Lamp
10 new high voltage stickers, AMAT 0060-09199
AMAT 3300-02875 fitting pipe adapter reducer 1/4fp x 1/8mp sst EM49S1-HW
3 indicator lamps 24v 50 ma 509688-00 T11-23
SAUNDERS AJ-13-05 1/4- 1/2" TEF
CARBON FILM RESISTOR CR-25-B 1/4 W OHM 600 PCS
Kit, IL/NIT/BWCVD, Throttle, Valve 233067803
AMAT 0140-78528 Cable Ground Wire Loto Bo, New
9 pin D type to 15 pin D type Connector cable
AMAT 0840-90099 Diode VSK340
AMAT 0020-06048 BUSHING-THROTTL?E VALVE
AMAT 0020-30517 Channel TC/Angle SPT PRSP
AMAT 3160-01019 Neoprene And Slip-On 1/4 Hex HD Screw
100 new AMAT 1290-01260 term ring TNG #4 14-16AWG VINYL IN
10 Bolt- Stainless Steel M5 x 30 3 cm long
10 new AMAT 3090-00229 BoH Hexagon Head M5 x 3
Swagelok 1/4" VCR Union
AMAT 0015-20281 Rest Button
3 AMAT 3700-02047 Oring Seal, 75 Duro Brown, 0.546 x 0.139 inch, Viton oring
NEW AMAT 3700-01364 Oring ID 7.984 CSD .139 VITON 75 DURO BRN UHP
5 new AMAT 0720-01460 PLUG, 3 POS PC MTG
AMAT 3300-08979 FTG TBG conn BULKHD 1/2T X 1/2MNPT S30
5 new AMAT 0720-01460 plug, 3 pos pc mtg
2 NAIS AKA82101 Switch Mounts
2 New Lighted Pick-Up Tools Replacement Lamp 05515
ABB Roboter Schwei?zelle 15 Achsen
Schwei?roboter KUKA mit H-Wender , 9-achsig , Schwei?ger?t , Brennerreiniger
2 Stück Roboter Motoman SK16 Steuerung: XRC, mit Drehtisch & Schwei?ausrüstu?ng
Schwei?roboter KUKA mit Positionierer, 9-achsig , Schwei?ger?t , Brennerreiniger
Roboter KUKA KR 360-2,(V) KRC2 ed.05 ,Bj.2006
Schwei?roboter KUKA mit Drehachse u. Gegenlager, Schwei?ger?t ,Brennerreinige?r
2 Stück Roboter Motoman SK16 Steuerung: MRC, inkl. Schwei?ausrüstu?ng u.Drehtisch
Kompaktzelle ABB IRB 1400 S4-M94A mit Schwei?ger?t ABB Aristorob 500
Punktschwei?rob?oter KUKA VK 360/150 mit 2 Punktschwei?zan?gen und Wechselsystem
Lackierroboter Fanuc S155,RJ,mit Verfahrachse 8m
Roboter KUKA KR 6/1 KRC1 mit Fronius Schwei?ger?t TPS 330 u. Drehachse 7-Achser
Painting robot Fanuc S-155 with linear axis 8m
Roboter KUKA KR 6/1 KRC1 mit Fronius Schwei?ger?t TPS 330
Roboter KUKA KR 350L240/2 , (V) KRC2 , Steuerung ist auf 7 Achsen aufgerüstet
Roboter KUKA KR 350L280/2 , (V) KRC2 , Steuerung ist auf 7 Achsen aufgerüstet
Lackierroboter ABB ME-512 , C5.3 ,TR-510, ex-geschützt
Konsolenroboter KUKA KR 210L180K Serie 2000 , (V)KRC2
Industrial robot COMAU NH1 130-3.0
Roboter ABB IRB 1400 mit Drehtisch und Schwei?ger?t
Roboter ABB IRB 4400L/30 S4C-M99
Used robot - Robot usato COMAU NH1 130-3.0 controller C4G
Enlarge
Roboter COMAU NH1 130-3.0 Steuerung C4G
Roboter KUKA KR 6/2, KRC1, Baujahr: 2001
Roboter ABB IRB 1400 S4-M94A mit Schwei?ger?t CLOOS GLC 503 Quinto
Roboter KUKA KR 210 Serie 2000 , KRC2
Lackierroboter ABB ME-512 , C5.3 ,TR-510
Painting robot ABB ME-512 , C5.3 ,TR-510
Palettierrobote?r Fanuc M410i , R-J2
Roboter ABB IRB 2400/16 S4-M96
Roboter KUKA KR 150/2 KRC1
Roboter ABB IRB 6400 2.4-150 M96
Roboter KUKA KR 100 P Press-to-Press KRC1A
Roboter ABB IRB 2400 S4-M94A
Roboter KUKA VK 360/125
Servo - Roboterschwei?z?ange ARO VA-2159D358706; Baujahr 2009
KUKA KRC1 Robot Servo Drive PM6-600 / 00-103-494
Roboter REIS SRV 6 , Bj.2001 - nur Mechanik und Kabel
ABB Kabelschlepp ABB IRB 6400 S4C
EXPERT Drehtisch Typ ED 920/1449/3
KUKA (V)KRC2 Teachpanel / 00-107-264
ABB DSQC 236D / 3E 041 927 - Drive unit
KUKA / SEF Teachpanel für Steuerung VRS-1b
KUKA KRC2 Powermodul KPS-600/20-ESC / 00-111-846
IGM K2 Teachpanel LIMAT RT 280-6
Reis RobotStar 5 Teach- Pendant PHG: 3.03 - Id-Nr.: 2140350
Hydraulikaggreg?at Bosch 210 bar; 160 l Tankinhalt
ABB DSQC 506 - Power Supply
ABB DSQC 346E - Drive Unit
NEW Varian 969-9306, E37000103, Screem, Inlet
NEW Pheonix Contact 5521241 National Instruments FLKM-50
3 new AMAT 1270-02953 SWHEAD FLUSH PUSH BUTTON RED
5 new kachina block shield 233-5052-90, API-707, AP1-707
6 cleaned shields 233-3056-57, CC, LG clamp API-492
NEW AMAT 0040-49122 Channel Cover Producer SE DSM
Proteus Industries Inc 100SS24 Fluid Flow Switch
2 new varian 07476001 roller ball screw
3 new varian 07514001 platen gear mod
varian 71020001 wafer slide plate as
LAM 839-360162-001 Gas Manifold, looks new, sell as used
UNIT MFC, UFC-1100A O2, 4 SLM Range
UNIT MFC, UFC-1100 N2, 1 SLM Range
AMAT 0050-36488 Gas manifold, looks new, sell as used
AMAT 0040-01902 Cover, Blank off, GPLIS II
AMAT 3870-06063 Ham-Let HMS30-4VKO-RND Valve
AMAT 3870-05020 Ham-Let HMS30-4VKC-RND Ultra Clean Surface Mount Valve
AMAT 0040-97128 Upper Side X-Ray Shield
2 NEW AMAT 0200-00472 PAD, REAR RIGHT, BLADE, UNIVERSAL, 200mm
2 New AMAT 0150-00595 Cable Assy. Cell B INTLKS
Pneumatics AK06E00002LSTD Dual 3 way 2 pin F20BBD00D000061
Tescom 12-1B11IGS2C-03?0 Manual Diaphragm 2-Port 150psi Surface Mount Valve
Precision Sensors E36W-H162 Absolute Pressure Switch
Teflon, Wafer, Pans 1A-06-11, looks new,
GRANVILLE PHILLIPS, ION VACUUM GAUGE, type EXT-Y
Kaydon Reali Slim Ball Bearing 3060-01692
Lot of 20 NEW BOC edwards seal model # Coseal NW50
NEW AMAT 0021-00629 Bracket, Endpoint poly, DPS
Faulhaber 22B, Minimotor, 21:1 ratio
TYLAN GENERAL CDL-11S06 0-10 T0RR RANGE, 0-10 VDC, used
SIEMENS LOGO POWER SUPPLY 6EP1 331-1SH01 and 4 finder Type 40.52 sensor
Lot of 2 Honeywell LD2P4LVVLOOM, Ai6BiP3l, Display Transducer
Varian 509264-00 Type 0531 Vacuum Gauge, TC NW16, KF16 Flange
9 New Schneider Electric Circuit breaker 20A
New Precise Sensor INC 3421-0200001G4S?FE02L Range 0-2000 PSI Supply Voltage
AMAT 3880-01072 Washer Wave SPRG .4900D, Qty 52
NEW AMAT 0140-77062 Robot Wrist encoder cable
PCB 25701-100, Price is for both PCB
NEW Millipore WG2F02PS1 Inline gas filter, 1/4" swagelok Novellus 20-102707-00
2 pacific scientific 1.8 degree step motor E21SCHT-LDN-SS-?02
7 AMAT 1270-02945 40MM Mushroom Twist - Release PB, Red E22LL2N896
2 Opto 22 PB-24HQ I/O Module Mounting Rack/Board Terminal Strip Bus
NEMATIC QUICK DISCONNECT T 1/2 INCH AMAT 3300-03003
BM35130 PB21720 REV. B EMC-1 94V0 3299
9 NEW Perlast 22-172777-00 Oring, White perlast G71H, 3.63 x 2.62, G71H compound
NEW AMAT 0020-33064 Flag ring extention sensor, P5000, MC Robot
2 Chemraz 93260-SC513 2-326 Compound 513, 1.600 x .210 inch O ring Seal, 78-2669
Brooks 013501-087-17 Pneumatic stop PCB board, novellus 27-257140-00